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登録内容 (EID=85933)

EID=85933EID:85933, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 16:31:49, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
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共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Sueyoshi Yasuhiko (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3. (英) Imai Hiroshi (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4.新谷 義廣
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Transparent Conductive ZnO:Al Films Prepared by Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 本論文は,光デバイス様の透明導電膜としてりようが期待されているアルミニウム添加酸化亜鉛薄膜を,斜め対向ターゲット式スパッタ法で作製すると,低抵抗膜が容易にえられることを示した.これは高速酸素負イオンや中性酸素原子による膜衝撃を低減した結果であるといえる.この手法で,500μΩcmの抵抗率まで現象できた.しかし,これ以下にするには,さらに他の要因が関係していることが推測できた.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Surface & Coatings Technology ([Elsevier])
(resolved by 0257-8972)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-3347)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])

ISSN (任意):
[継承]
(必須): 61 [継承]
(必須): [継承]
(必須): 683 687 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1993年 0月 初日 (平成 5年 0月 初日) [継承]
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DOI (任意):
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和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Yasuhiko Sueyoshi, Hiroshi Imai and Yoshihiro Shintani : Transparent Conductive ZnO:Al Films Prepared by Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets, Surface & Coatings Technology, Vol.61, 683-687, 1993.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Yasuhiko Sueyoshi, Hiroshi Imai and Yoshihiro Shintani : Transparent Conductive ZnO:Al Films Prepared by Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets, Surface & Coatings Technology, Vol.61, 683-687, 1993.

関連情報

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