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登録内容 (EID=85931)

EID=85931EID:85931, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 16:31:49, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Sueyoshi Yasuhiko (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3. (英) Imai Hiroshi (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Chong Munfei (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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5.新谷 義廣
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Simultaneous Measurements of Energetic O- Ions and O Atoms in Sputtering of Zincoxide Target  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 本論文は,スパッタリングにおいて発生する高速酸素イオンと中性原子を分離して測定して,それを理論式と比較することで,各々の粒子のアルゴンと酸素分子との衝突断面積を評価し,衝突機構について検討したものである.高速酸素負イオンはアルゴン中では衝突に際し電荷交換はしないが,酸素ガス中では自身の電荷を酸素分子にわたす電荷交換衝突が主であることを解析により示した.   [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) energetic oxygen ions (日) (読) [継承]
2. (英) energetic neutral oxygen atoms (日) (読) [継承]
3. (英) time-of-flight method (日) (読) [継承]
4. (英) planar magnetron sputtering (日) (読) [継承]
発行所 (推奨): 応用物理学会 [継承]
誌名 (必須): Japanese Journal of Applied Physics ([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)

ISSN (任意): 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
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(必須): 32 [継承]
(必須): 10 [継承]
(必須): 4745 4749 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1993年 10月 15日 (平成 5年 10月 15日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/110003899855/ [継承]
DOI (任意): 10.1143/JJAP.32.4745    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 110003899855 [継承]
WOS (任意):
Scopus (任意):
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被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Yasuhiko Sueyoshi, Hiroshi Imai, Munfei Chong and Yoshihiro Shintani : Simultaneous Measurements of Energetic O- Ions and O Atoms in Sputtering of Zincoxide Target, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.32, No.10, 4745-4749, 1993.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Yasuhiko Sueyoshi, Hiroshi Imai, Munfei Chong and Yoshihiro Shintani : Simultaneous Measurements of Energetic O- Ions and O Atoms in Sputtering of Zincoxide Target, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.32, No.10, 4745-4749, 1993.

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Number of session users = 0, LA = 0.53, Max(EID) = 361611, Max(EOID) = 967818.