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登録内容 (EID=85785)

EID=85785EID:85785, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 13:58:16, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術レター (ショートペーパー) [継承]
言語 (必須):
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共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Yuasa Takayuki (日) (読)
役割 (任意):
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学籍番号 (推奨):
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3. (英) Kume Michiya (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Mean Free Path of Energetic Oxygen Atoms in the Sputtering of ZnO  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 本論文は,酸化亜鉛圧電性スパッタ膜の作成のなかで,飛行時間法による粒子測定プローブを用いて,スパッタリング時の高速酸素原子の平均自由行程を評価し,その値がスパッタ時のガス圧でおよそ2-3cmになることを測定した.この値はスパッタプロセスにおいて重要になる.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨): 応用物理学会 [継承]
誌名 (必須): Japanese Journal of Applied Physics ([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)

ISSN (任意): 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
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(必須): 23 [継承]
(必須): 7 [継承]
(必須): 924 925 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1984年 7月 20日 (昭和 59年 7月 20日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/110003910182/ [継承]
DOI (任意): 10.1143/JJAP.23.936    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 110003910182 [継承]
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標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takayuki Yuasa and Michiya Kume : Mean Free Path of Energetic Oxygen Atoms in the Sputtering of ZnO, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.23, No.7, 924-925, 1984.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takayuki Yuasa and Michiya Kume : Mean Free Path of Energetic Oxygen Atoms in the Sputtering of ZnO, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.23, No.7, 924-925, 1984.

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