〔閲覧〕【著作】([富永 喜久雄]/Iwamura Satoshi/[新谷 義廣]/Tada Osamu/Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3/[Japanese Journal of Applied Physics])
(英) Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3 (日)
[継承]
○副題(任意):
○要約(任意):
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(英)(日) 本論文は,圧電性を有する酸化亜鉛やチタン酸バリウム薄膜をスパッタ法で作製するとき,酸素負イオンが生成され,それが電界により加速されて高速負イオンとなり,その一部が中性の高速酸素原子となり膜を衝撃していることを,原子の飛行時間を測定する飛行時間法(Time of flight法)を原理とするプローブを開発し,それを用いて証明した.本論文でスパッタリングの分野で初めてこの方式を導入し高速粒子の観測をおこなったものである.
Kikuo Tominaga, Satoshi Iwamura, Yoshihiro ShintaniandOsamu Tada : Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.21, No.5, 688-695, 1982.
欧文冊子 ●
Kikuo Tominaga, Satoshi Iwamura, Yoshihiro ShintaniandOsamu Tada : Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.21, No.5, 688-695, 1982.
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