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登録内容 (EID=85770)

EID=85770EID:85770, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 13:58:16, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
○種別 (必須): □学術論文 (審査論文) [継承]
○言語 (必須):
○招待 (推奨):
○審査 (推奨):
○カテゴリ (推奨):
○共著種別 (推奨):
○学究種別 (推奨):
○組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
○著者 (必須): 1.富永 喜久雄
○役割 (任意): □共著 [継承]
○貢献度 (任意):
○学籍番号 (推奨):
[継承]
2. (英) Iwamura Satoshi (日) (読)
○役割 (任意):
○貢献度 (任意):
○学籍番号 (推奨):
[継承]
3.新谷 義廣
○役割 (任意):
○貢献度 (任意):
○学籍番号 (推奨):
[継承]
4. (英) Tada Osamu (日) (読)
○役割 (任意):
○貢献度 (任意):
○学籍番号 (推奨):
[継承]
○題名 (必須): □(英) Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3  (日)    [継承]
○副題 (任意):
○要約 (任意): □(英)   (日) 本論文は，圧電性を有する酸化亜鉛やチタン酸バリウム薄膜をスパッタ法で作製するとき，酸素負イオンが生成され，それが電界により加速されて高速負イオンとなり，その一部が中性の高速酸素原子となり膜を衝撃していることを，原子の飛行時間を測定する飛行時間法(Time of flight法)を原理とするプローブを開発し，それを用いて証明した．本論文でスパッタリングの分野で初めてこの方式を導入し高速粒子の観測をおこなったものである．   [継承]
○キーワード (推奨):
○発行所 (推奨):
○誌名 (必須): □Japanese Journal of Applied Physics ([応用物理学会])
(resolved by 0021-4922)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
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(resolved by 1347-4065)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
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○ISSN (任意):
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○巻 (必須): □21 [継承]
○号 (必須): □5 [継承]
○頁 (必須): □688 695 [継承]
○都市 (任意):
○年月日 (必須): □西暦 1982年 5月 初日 (昭和 57年 5月 初日) [継承]
○URL (任意):
○DOI (任意): □10.1143/JJAP.21.688    (→Scopusで検索) [継承]
○PMID (任意):
○NAID (任意):
○WOS (任意):
○Scopus (任意):
○評価値 (任意):
○被引用数 (任意):
○指導教員 (推奨):
○備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Satoshi Iwamura, Yoshihiro Shintani and Osamu Tada : Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.21, No.5, 688-695, 1982.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Satoshi Iwamura, Yoshihiro Shintani and Osamu Tada : Energy Analysis of High-Energy Neutral Atoms in the Sputtering of ZnO and BaTiO3, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.21, No.5, 688-695, 1982.

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