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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.大学院理工学研究部 (2016年4月1日〜2017年3月31日) [継承]
著者 (必須): 1.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
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学籍番号 (推奨):
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2. (英) Shirasaka Kenta (日) 白坂 賢汰 (読) しらさか けんた
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学籍番号 (推奨): **** [ユーザ]
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3.米倉 大介 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
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学籍番号 (推奨):
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4. (英) Tanaka Yuta (日) 田中 勇太 (読) たなか ゆうた
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学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Measurement of the residual stress in chromium nitride coatings deposited on an aluminum alloy substrate using arc ion plating method  (日)    [継承]
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発行所 (推奨): (英) American Vacuum Society (日) (読) [継承]
誌名 (必須): Journal of Vacuum Science and Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics : Materials, Processing, Measurement, & Phenomena : JVST B (American Vacuum Society/American Institute of Physics)
(pISSN: 2166-2746, eISSN: 2166-2754)

ISSN (任意): 2166-2746
ISSN: 2166-2746 (pISSN: 2166-2746, eISSN: 2166-2754)
Title: Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena : JVST B
Title(ISO): J Vac Sci Technol B Nanotechnol Microelectron
Publisher: AVS Science and Technology Society
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(必須): 37 [継承]
(必須): [継承]
(必須): 062916-1 062916-5 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2019年 10月 28日 (令和 元年 10月 28日) [継承]
URL (任意): https://doi.org/10.1116/1.5118702 [継承]
DOI (任意): 10.1116/1.5118702    (→Scopusで検索) [継承]
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和文冊子 ● Kazuya Kusaka, Kenta Shirasaka, Daisuke Yonekura and Yuta Tanaka : Measurement of the residual stress in chromium nitride coatings deposited on an aluminum alloy substrate using arc ion plating method, Journal of Vacuum Science and Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics : Materials, Processing, Measurement, & Phenomena : JVST B, Vol.37, 062916-1-062916-5, 2019.
欧文冊子 ● Kazuya Kusaka, Kenta Shirasaka, Daisuke Yonekura and Yuta Tanaka : Measurement of the residual stress in chromium nitride coatings deposited on an aluminum alloy substrate using arc ion plating method, Journal of Vacuum Science and Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics : Materials, Processing, Measurement, & Phenomena : JVST B, Vol.37, 062916-1-062916-5, 2019.

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