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登録内容 (EID=169627)

EID=169627EID:169627, Map:[2007/プラズマ物性工学特論], LastModified:2007年12月11日(火) 21:55:54, Operator:[三好 康夫], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[教務委員会委員]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 先端技術科学教育部 (授業概要) [継承]
入学年度 (必須): 西暦 2008年 (平成 20年) [継承]
名称 (必須): (英) Plasma Science and Technology (日) プラズマ物性工学特論 (読) ぷらずまぶっせいこうがくとくろん
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形態 (推奨): 1.講義形式とポートフォーリオ形式の併用 [継承]
コース (必須): 1.2008/[徳島大学.先端技術科学教育部.システム創生工学専攻.電気電子創生工学コース]/[博士後期課程] [継承]
担当教員 (必須): 1.大宅 薫
肩書 (任意):
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単位 (必須): 2 [継承]
目的 (必須): (英) The lecture aims to understand electronic, atomic and molecular collision processes in gases and solids and to present their various applications.  (日) 気体および固体内の電子,原子,分子の衝突過程を理解し,そのさまざまな応用についての知識を得る.   [継承]
概要 (必須): (英) 1) Electronic, atomic and molecular collisions in gases and solid. Plasma physics and chemistry. Surface and materials science related to plasma-solid interactions. 2) Application to material processing technologies for electronic devices. Plasma-wall interactions in controlled thermonuclear fusion devices.  (日) 1)気体および固体内の電子,原子,分子の衝突過程について述べ,それらのプラズマ物理学,プラズマ化学,表面科学,材料科学などとの関連について講義する.2)プラズマ材料デバイスプロセスへの応用,核融合プラズマ·壁相互作用について紹介する.   [継承]
キーワード (推奨): 1.プラズマ (plasma) [継承]
2. (英) collision theory (日) 衝突理論 (読) [継承]
3. (英) plasma-surface interaction (日) プラズマ·表面相互作用 (読) [継承]
4. (英) plasma applications (日) プラズマ応用 (読) [継承]
先行科目 (推奨):
関連科目 (推奨):
要件 (任意):
注意 (任意):
目標 (必須): 1.(英) Understanding on collision processes in gases and solids  (日) 気体および固体内の電子,原子,分子の衝突過程を理解する.  
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2.(英) Understanding on applications to material processing technologies and plasma-wall interactions in controlled thermonuclear fusion devices.  (日) プラズマ材料デバイスプロセス,核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用について理解する.  
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計画 (必須): 1.(英) Introduction to collision theory  (日) 衝突理論の初歩  
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2.(英) Interaction potential  (日) 相互作用ポテンシャル  
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3.(英) Elastic collision and nuclear stopping power  (日) 弾性衝突と核的阻止能  
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4.(英) Inelastic collision and electronic stopping power  (日) 非弾性衝突と電子的阻止能  
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5.(英) Inelastic processes in gases  (日) 気体中の非弾性衝突過程  
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6.(英) Electron and Ion transport in gases  (日) 気体中の電子とイオンの輸送  
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7.(英) Reflection and thermal re-emission from solids  (日) 固体表面でのイオン反射と再放出  
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8.(英) Collision mixing and diffusions in solids  (日) 固体内の衝突ミキシングと拡散  
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9.(英) Physical sputtering and chemical sputtering  (日) 物理スパッタリングと化学スパッタリング  
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10.(英) Plasma chemical vapor deposition deposition  (日) プラズマCVD  
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11.(英) Plasma-assisted etching  (日) プラズマ·エッチング  
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12.(英) Other applications to material device processing  (日) その他の材料デバイスプロセスへの応用  
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13.(英) Plasma-wall interactions in nuclear fusion devices  (日) 核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用  
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14.(英) Edge plasma physics  (日) 周辺プラズマ物理  
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15.(英) Hydrogen recycling and material erosion  (日) 水素リサイクリングと材料損耗  
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16.(英) Conclusions and future problems  (日) まとめと今後の課題  
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評価 (必須):
再評価 (必須):
対象学生 (任意):
教科書 (必須):
参考資料 (推奨):
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連絡先 (推奨): 1.大宅 薫
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和文冊子 ● プラズマ物性工学特論 / Plasma Science and Technology
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