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登録内容 (EID=16301)

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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.英 崇夫
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Hosoda Hiroyosi (日) 細田 祐吉 (読) ほそだ ひろよし
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Abnormal Residual Stress State in ZnO Films Synthesized by Planar Magnetron Sputtering System with Two Facing Targets  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) The structure and residual stresses of ZnO films synthesized by a planar magnetron sputtering system with two facing targets were investigated by X-ray diffraction. ZnO films were deposited onto a sheet of Corning 7059 glass. The X-ray diffraction pattern shows that the film has high [00·1} orientation. Residual strains were measured on various diffraction lines that appear at special angles from the surface normal. The strains taken from positive and negative differed from each other. This behavior is deduced from the existence of a shear stress component in a cross-section of the film. The magnitude of the shear stress increased with increasing current density of the Zn target as well as with decreasing argon gas pressure.  (日) 対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタリングによって生成したZnO膜の構造と残留応力をX線回折によって調べた.ZnO膜をはコーニング#7059ガラス上に堆積した.X線回折線図から,膜が高い{00·1}配向性を有することが明らかになった.残留応力は基板法線から特別な角度ψで現れるいろいろな回折線により測定される.+ψおよび-ψから得られるひずみは互いに異なっていた.このふるまいは膜の断面にせん断応力成分の存在が推定される.アルゴンガス圧を減少させることとZnターゲットの供給電流を増加させるとともに,せん断応力の大きさは増加する.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨): Elsevier Science [継承]
誌名 (必須): Thin Solid Films ([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
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ISSN (任意):
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(必須): 343-344 [継承]
(必須):
(必須): 164 167 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1999年 11月 1日 (平成 11年 11月 1日) [継承]
URL (任意): http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW0-3Y6PSMH-32&_user=106892&_handle=B-WA-A-A-AZC-MsSAYVW-UUA-AUECWVVEWC-AUEWYWCDWC-CDAYCUBYW-AZC-U&_fmt=summary&_coverDate=04%2F30%2F1999&_rdoc=43&_orig=browse&_srch=%23toc%235548%231999%23996559999%23150101!&_cdi=5548&view=c&_acct=C000008258&_version=1&_urlVersion=0&_userid=106892&md5=23fbe0a77d242b3c1c749a9a7a3d5f00 [継承]
DOI (任意):
PMID (任意):
NAID (任意):
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Scopus (任意):
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被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Takao Hanabusa, Hiroyosi Hosoda, Kazuya Kusaka and Kikuo Tominaga : Abnormal Residual Stress State in ZnO Films Synthesized by Planar Magnetron Sputtering System with Two Facing Targets, Thin Solid Films, Vol.343-344, (号), 164-167, 1999.
欧文冊子 ● Takao Hanabusa, Hiroyosi Hosoda, Kazuya Kusaka and Kikuo Tominaga : Abnormal Residual Stress State in ZnO Films Synthesized by Planar Magnetron Sputtering System with Two Facing Targets, Thin Solid Films, Vol.343-344, (号), 164-167, 1999.

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