EDB [[日下一也]/[英崇夫]/[富永喜久雄]/阿尾高広/交替式スパッタリング装置を用いて生成したAlN膜の残留応力測定/第32回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集] (99354)

EID=99354

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○種別 (必須):

□

国内講演発表

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○言語 (必須):

□

日本語

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○招待 (推奨):

○審査 (推奨):

○カテゴリ (推奨):

□

研究

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○共著種別 (推奨):

○学究種別 (推奨):

○組織 (推奨):

1.

徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 (〜2023年3月31日)

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2.

徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 (〜2023年3月31日)

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○著者 (必須):

1.

日下一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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2.

英崇夫

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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3.

富永喜久雄

○役割 (任意):	□	共著	[継承]
○貢献度 (任意):
○学籍番号 (推奨):

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4.

(英) Ao Takahiro (日) 阿尾高広 (読) あおたかひろ

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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○題名 (必須):

□

(英) Residual Stress Measurement in AlN Films by Alternating Sputtering System (日) 交替式スパッタリング装置を用いて生成したAlN膜の残留応力測定

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○副題 (任意):

○要約 (任意):

○キーワード (推奨):

○発行所 (推奨):

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日本材料学会

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○誌名 (必須):

□

(英) Proceedings of the 32th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials (日) 第32回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 (読) だいさんじゅうにかいえっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむこうえんろんぶんしゅう

○ISSN (任意):

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○巻 (必須):

○号 (必須):

○頁 (必須):

□

238 243

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○都市 (必須):

□

京都 (Kyoto/[日本国])

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○年月日 (必須):

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西暦 1996年 7月 25日 (平成 8年 7月 25日)

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○被引用数 (任意):

○指導教員 (推奨):

○備考 (任意):

和文冊子 ●	日下一也, 英崇夫, 富永喜久雄, 阿尾高広 : 交替式スパッタリング装置を用いて生成したAlN膜の残留応力測定, 第32回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集, (巻), (号), 238-243, 1996年7月.
欧文冊子 ●	Kazuya Kusaka, Takao Hanabusa, Kikuo Tominaga and Takahiro Ao : Residual Stress Measurement in AlN Films by Alternating Sputtering System, Proceedings of the 32th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials, (巻), (号), 238-243, July 1996.

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登録内容 (EID=99354)

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