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(英) Proceedings of the 30th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials (日) 第30回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 (読) だいさんじゅっかい えっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむこうえんろんぶんしゅう
Kazuya Kusaka, Takao HanabusaandKikuo Tominaga : Dependence of Nitrogen Gas Pressure on Residual Stress in AlN Films Deposited by Planar Magnetron Sputtering System with Unbalanced Target, Proceedings of the 30th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials, (巻), (号), 75-80, July 1994.
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