『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
登録内容 (EID=99296)
| EID=99296 | EID:99296,
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| ○種別 (必須): | □ | 国内講演発表
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| ○言語 (必須): | □ | 日本語
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| ○招待 (推奨): |
| ○審査 (推奨): |
| ○カテゴリ (推奨): | □ | 研究
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| ○共著種別 (推奨): |
| ○学究種別 (推奨): |
| ○組織 (推奨): | 1. | 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 (〜2023年3月31日)
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| 2. | 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 (〜2023年3月31日)
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| ○著者 (必須): | 1. | 日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
| ○役割 (任意): |
| ○貢献度 (任意): |
| ○学籍番号 (推奨): |
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| 2. | 英 崇夫
| ○役割 (任意): |
| ○貢献度 (任意): |
| ○学籍番号 (推奨): |
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| 3. | 富永 喜久雄
| ○役割 (任意): | □ | 共著
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| ○貢献度 (任意): |
| ○学籍番号 (推奨): |
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| ○題名 (必須): | □ | (英) (日) プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性
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| ○副題 (任意): |
| ○要約 (任意): |
| ○キーワード (推奨): |
| ○発行所 (推奨): | □ | 日本材料学会
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| ○誌名 (必須): | □ | (英) (日) 第43期学術講演会論文集 (読) だいよんじゅうさんきがくじゅつこうえんかいろんぶんしゅう
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| ○巻 (必須): |
| ○号 (必須): |
| ○頁 (必須): | □ | 151 152
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| ○都市 (必須): | □ | 東京 (Tokyo/[日本国])
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| ○年月日 (必須): | □ | 西暦 1994年 5月 24日 (平成 6年 5月 24日)
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| ○URL (任意): |
| ○DOI (任意): |
| ○PMID (任意): |
| ○CRID (任意): |
| ○Scopus (任意): |
| ○researchmap (任意): |
| ○評価値 (任意): |
| ○被引用数 (任意): |
| ○指導教員 (推奨): |
| ○備考 (任意): |
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標準的な表示
| 和文冊子 ● |
日下 一也, 英 崇夫, 富永 喜久雄 : プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性, 第43期学術講演会論文集, (巻), (号), 151-152, 1994年5月. |
| 欧文冊子 ● |
Kazuya Kusaka, Takao Hanabusa and Kikuo Tominaga : プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性, 第43期学術講演会論文集, (巻), (号), 151-152, May 1994. |
関連情報
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