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登録内容 (EID=99296)

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種別 (必須): 国内講演発表 [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
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学籍番号 (推奨):
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2.英 崇夫
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英)   (日) プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意):
キーワード (推奨):
発行所 (推奨): 日本材料学会 [継承]
誌名 (必須): (英) (日) 第43期学術講演会論文集 (読) だいよんじゅうさんきがくじゅつこうえんかいろんぶんしゅう
ISSN (任意):
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(必須):
(必須):
(必須): 151 152 [継承]
都市 (必須): 東京 (Tokyo/[日本国]) [継承]
年月日 (必須): 西暦 1994年 5月 24日 (平成 6年 5月 24日) [継承]
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和文冊子 ● 日下 一也, 英 崇夫, 富永 喜久雄 : プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性, 第43期学術講演会論文集, (巻), (号), 151-152, 1994年5月.
欧文冊子 ● Kazuya Kusaka, Takao Hanabusa and Kikuo Tominaga : プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性, 第43期学術講演会論文集, (巻), (号), 151-152, May 1994.

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