EDB [[英崇夫]/[富永喜久雄]/藤原晴夫/[日下一也]/スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板温度依存性/第28回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集] (99287)

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○種別 (必須):

□

国内講演発表

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○言語 (必須):

□

日本語

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○招待 (推奨):

○審査 (推奨):

○カテゴリ (推奨):

□

研究

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○共著種別 (推奨):

○学究種別 (推奨):

○組織 (推奨):

1.

徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座

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2.

徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座

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○著者 (必須):

1.

英崇夫

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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2.

富永喜久雄

○役割 (任意):	□	共著	[継承]
○貢献度 (任意):
○学籍番号 (推奨):

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3.

(英) Fujiwara Haruo (日) 藤原晴夫 (読)

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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4.

日下一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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○題名 (必須):

□

(英) Dependence of Substrate Temperature on Residual Stress in AlN Films Deposited by Sputtering System (日) スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板温度依存性

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○副題 (任意):

○要約 (任意):

○キーワード (推奨):

○発行所 (推奨):

□

日本材料学会

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○誌名 (必須):

□

(英) Proceedings of the 28th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials (日) 第28回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 (読) だいにじゅうはちかいえっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむろんぶんこうえんしゅう

○ISSN (任意):

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○巻 (必須):

○号 (必須):

○頁 (必須):

□

93 98

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○都市 (必須):

□

京都 (Kyoto/[日本国])

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○年月日 (必須):

□

西暦 1992年 7月 23日 (平成 4年 7月 23日)

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○URL (任意):

○DOI (任意):

○PMID (任意):

○NAID (任意):

○WOS (任意):

○Scopus (任意):

○評価値 (任意):

○被引用数 (任意):

○指導教員 (推奨):

○備考 (任意):

和文冊子 ●	英崇夫, 富永喜久雄, 藤原晴夫, 日下一也 : スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板温度依存性, 第28回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集, (巻), (号), 93-98, 1992年7月.
欧文冊子 ●	Takao Hanabusa, Kikuo Tominaga, Haruo Fujiwara and Kazuya Kusaka : Dependence of Substrate Temperature on Residual Stress in AlN Films Deposited by Sputtering System, Proceedings of the 28th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials, (巻), (号), 93-98, July 1992.

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登録内容 (EID=99287)

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