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登録内容 (EID=86181)

EID=86181EID:86181, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 16:31:49, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 総説·解説 [継承]
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共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
2.放送大学.徳島学習センター [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2.新谷 義廣
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英)   (日) 酸化亜鉛のスパッタリングにおける高速粒子のエネルギー評価とその成長膜への影響   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) スパッタリング法による膜形成において,膜を衝撃している高速粒子の測定法について報告した.その中で,飛行時間法による高速粒子のエネルギーや粒子の同定について,酸化亜鉛のスパッタリングを取り上げて述べ,その際の高速粒子の生成メカニズムを議論した.あわせて,酸化亜鉛膜へ及ぼす粒子衝撃の影響について述べた.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): 応用物理学会誌 ([応用物理学会])
(resolved by 0369-8009)
ISSN: 0369-8009 (pISSN: 0369-8009, eISSN: 2188-2290)
Title: 応用物理
Supplier: 公益社団法人 応用物理学会
 (J-STAGE (No Scopus information.)

ISSN (任意):
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(必須): 62 [継承]
(必須): 12 [継承]
(必須): 1230 1233 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1993年 12月 初日 (平成 5年 12月 初日) [継承]
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和文冊子 ● 富永 喜久雄, 新谷 義廣 : 酸化亜鉛のスパッタリングにおける高速粒子のエネルギー評価とその成長膜への影響, 応用物理学会誌, Vol.62, No.12, 1230-1233, 1993年12月.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga and Yoshihiro Shintani : 酸化亜鉛のスパッタリングにおける高速粒子のエネルギー評価とその成長膜への影響, OYO BUTURI, Vol.62, No.12, 1230-1233, Dec. 1993.

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