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登録内容 (EID=85927)

EID=85927EID:85927, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 15:50:58, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
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共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Imai Hiroshi (日) (読)
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貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3. (英) Sueyoshi Yasuhiko (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Shirai Masaki (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 本論文では,酸化亜鉛と窒化アルミニウムを同一の斜め対向ターゲット式スパッタ法で作製して,その巻く特性の劣化機構の差異について検討した.これまで2通りの意見が提案されていたが,本研究の結果は,酸化亜鉛では高速酸素負イオンや高速酸素原子の影響が大きく,窒化アルミニウムでは基板にが負に帯電することによるプラズマからの窒素イオンやアルゴンイオンによる膜衝撃の影響がおおきいことを示した.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Surface & Coatings Technology ([Elsevier])
(resolved by 0257-8972)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-3347)
ISSN: 0257-8972 (pISSN: 0257-8972, eISSN: 1879-3347)
Title: Surface & coatings technology
Title(ISO): Surf Coat Technol
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])

ISSN (任意):
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(必須): 54/55 [継承]
(必須): [継承]
(必須): 143 147 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1992年 0月 初日 (平成 4年 0月 初日) [継承]
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和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Hiroshi Imai, Yasuhiko Sueyoshi and Masaki Shirai : Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets, Surface & Coatings Technology, Vol.54/55, 143-147, 1992.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Hiroshi Imai, Yasuhiko Sueyoshi and Masaki Shirai : Planar Magnetron Sputtering System with Obliquely Facing Targets, Surface & Coatings Technology, Vol.54/55, 143-147, 1992.

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