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登録内容 (EID=85809)

EID=85809EID:85809, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 15:02:52, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Yuasa Takayuki (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3. (英) Kuroda Kenji (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Tada Osamu (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Energetic Oxygen Atoms in RF Sputtering of ZnO  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 本論文は,高周波(RF,13.56 MHz)プレーナマグネトロンスパッタ法および2極スパッタ法による圧電性酸化亜鉛薄膜作製において,膜を衝撃している高速酸素原子束を飛行時間法プローブにより測定し,酸素原子の総量のガス圧依存性を評価した.また,酸素原子のみならず,高速酸素分子も少なからず存在することもわかった.著者の開発したプローブがスパッタプロセス時のプラズマ状態の測定に有用であることを示した.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Japanese Journal of Applied Physics ([応用物理学会])
(resolved by 0021-4922)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1347-4065)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])

ISSN (任意):
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(必須): 26 [継承]
(必須): Suppl.26-2 [継承]
(必須): 22 25 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1987年 10月 初日 (昭和 62年 10月 初日) [継承]
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WOS (任意):
Scopus (任意):
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指導教員 (推奨):
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標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takayuki Yuasa, Kenji Kuroda and Osamu Tada : Energetic Oxygen Atoms in RF Sputtering of ZnO, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.26, No.Suppl.26-2, 22-25, 1987.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takayuki Yuasa, Kenji Kuroda and Osamu Tada : Energetic Oxygen Atoms in RF Sputtering of ZnO, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.26, No.Suppl.26-2, 22-25, 1987.

関連情報

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