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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.林 由佳子
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学籍番号 (推奨):
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2. (英) Kondo Kumiko (日) 近藤 久美子 (読) こんどう くみこ
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学籍番号 (推奨):
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3.村井 啓一郎 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
役割 (任意):
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学籍番号 (推奨):
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4.森賀 俊広 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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5.中林 一朗
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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6.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
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学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering system of ZnO and SnO2 targets  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタリング法により,酸化亜鉛-酸化スズ系透明導電性薄膜を作製した.薄膜中の亜鉛含有量が増加するに従い,生成相はルチル型相,アモルファス相,ウルツ鉱型相と変化した.アモルファス相では,組成がSnO2·ZnSnO3となる付近で抵抗率が極小値を示し,ZnO·ZnSnO3となる付近で極大値を示すことを明らかにした.   [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) transparent conductive film (日) (読) [継承]
2. (英) ZnO (日) (読) [継承]
3. (英) SnO2 (日) (読) [継承]
4. (英) sputtering (日) (読) [継承]
5. (英) amorphous (日) (読) [継承]
6. (英) ZnSnO3 (日) (読) [継承]
7. (英) Zn2SnO4 (日) (読) [継承]
8. (英) THIN-FILMS (日) (読) [継承]
9. (英) ZINC-STANNATE (日) (読) [継承]
10. (英) IN2O3 (日) (読) [継承]
発行所 (推奨): Elsevier Science [継承]
誌名 (必須): Vacuum ([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)

ISSN (任意): 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 74 [継承]
(必須): 3-4 [継承]
(必須): 607 611 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2004年 3月 10日 (平成 16年 3月 10日) [継承]
URL (任意):
DOI (任意): 10.1016/j.vacuum.2004.01.033    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意):
WOS (任意): 000221843100043 [継承]
Scopus (任意): 2-s2.0-2442560055 [継承]
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Yukako Hayashi, Kumiko Kondo, Kei-ichiro Murai, Toshihiro Moriga, Ichiro Nakabayashi and Kikuo Tominaga : ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering system of ZnO and SnO2 targets, Vacuum, Vol.74, No.3-4, 607-611, 2004.
欧文冊子 ● Yukako Hayashi, Kumiko Kondo, Kei-ichiro Murai, Toshihiro Moriga, Ichiro Nakabayashi and Kikuo Tominaga : ZnO-SnO2 transparent conductive films deposited by opposed target sputtering system of ZnO and SnO2 targets, Vacuum, Vol.74, No.3-4, 607-611, 2004.

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