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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所 (2019年3月1日〜) [継承]
著者 (必須): 1. (英) Ye Z. (日) (読)
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2. (英) Nitta S. (日) (読)
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3.永松 謙太郎 ([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所])
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4. (英) Fujimoto N. (日) (読)
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5. (英) Kushimoto M. (日) (読)
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6. (英) Deki M. (日) (読)
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7. (英) Tanaka A. (日) (読)
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8. (英) Honda Y. (日) (読)
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9. (英) Pristovsek M. (日) (読)
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10. (英) Amano H. (日) (読)
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題名 (必須): (英) Ammonia decomposition and reaction by high-resolution mass spectrometry for group III Nitride epitaxial growth  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) The decomposition of ammonia (NH3) in nitrogen (N2) ambient was studied under non-equilibrium conditions similar to those in a metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE) reactor during the epitaxial growth of group-III nitrides. The gas phase was sampled at different positions and analyzed using a time-of-flight mass spectrometry system with a high resolution (better than 0.002u). Our results expand earlier findings. Even at the high temperature of 1200°C, only 26% of NH3 decomposed in a clean metal-free reactor, whereas a higher ratio of NH3 decomposition was realized in the presence of stainless steel. The activation energy in the clean reactor was calculated to be 0.965±0.004eV. These results demonstrate the capability of our setup and shed new light on the elucidation of the vapor phase growth mechanism of group III-nitrides by MOVPE.  (日)    [継承]
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発行所 (推奨): Elsevier (->組織[Elsevier Science]) [継承]
誌名 (必須): Journal of Crystal Growth ([Elsevier])
(pISSN: 0022-0248)

ISSN (任意): 0022-0248
ISSN: 0022-0248 (pISSN: 0022-0248)
Title: Journal of crystal growth
Title(ISO): J Cryst Growth
Publisher: Elsevier BV
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 516 [継承]
(必須):
(必須): 63 66 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2019年 6月 15日 (令和 元年 6月 15日) [継承]
URL (任意): https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0022024819302015 [継承]
DOI (任意): 10.1016/j.jcrysgro.2019.03.025    (→Scopusで検索) [継承]
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指導教員 (推奨):
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標準的な表示

和文冊子 ● Z. Ye, S. Nitta, Kentaro Nagamatsu, N. Fujimoto, M. Kushimoto, M. Deki, A. Tanaka, Y. Honda, M. Pristovsek and H. Amano : Ammonia decomposition and reaction by high-resolution mass spectrometry for group III Nitride epitaxial growth, Journal of Crystal Growth, Vol.516, (号), 63-66, 2019.
欧文冊子 ● Z. Ye, S. Nitta, Kentaro Nagamatsu, N. Fujimoto, M. Kushimoto, M. Deki, A. Tanaka, Y. Honda, M. Pristovsek and H. Amano : Ammonia decomposition and reaction by high-resolution mass spectrometry for group III Nitride epitaxial growth, Journal of Crystal Growth, Vol.516, (号), 63-66, 2019.

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