『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
登録内容 (EID=300559)
| EID=300559 | EID:300559,
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LastModified:2016年4月22日(金) 18:29:42,
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| ○組織 (推奨): |
| ○種別 (必須): | □ | 特許
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| ○出願国 (必須): | 1. | 国内
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| ○発明者 (必須): | 1. | (英) (日) 土橋 和也 (読)
| ○役割 (任意): |
| ○貢献度 (任意): |
| ○学籍番号 (推奨): |
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| 2. | 井内 健介 ([徳島大学.四国産学官連携イノベーション共同推進機構]/[徳島大学.研究支援・産官学連携センター])
| ○役割 (任意): |
| ○貢献度 (任意): |
| ○学籍番号 (推奨): |
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| ○出願人 (推奨): | 1. | (英) (日) 東京エレクトロン株式会社 (読)
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| ○名称 (必須): | □ | (英) (日) 基板洗浄方法及び基板洗浄装置
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| ○要約 (任意): |
| ○キーワード (推奨): |
| ○出願 (必須): | □ | 2013-156138
| ○出願年月日 (必須): | □ | 西暦 2013年 7月 26日 (平成 25年 7月 26日)
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| ○開示 (必須): | □ | 2015-26745
| ○開示年月日 (必須): | □ | 西暦 2015年 2月 5日 (平成 27年 2月 5日)
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| ○番号 (必須): |
| ○年月日 (必須): |
| ○備考 (任意): |
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標準的な表示
| 和文冊子 ● |
土橋 和也, 井内 健介 : 基板洗浄方法及び基板洗浄装置, 特願2013-156138 (2013年7月), 特開2015-26745 (2015年2月), (番号) ((年月日)). |
| 欧文冊子 ● |
土橋 和也 and Kensuke Inai : 基板洗浄方法及び基板洗浄装置, 2013-156138 (July 2013), 2015-26745 (Feb. 2015), (番号) ((年月日)). |
関連情報
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