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登録内容 (EID=26404)

EID=26404EID:26404, Map:0, LastModified:2007年2月14日(水) 17:36:41, Operator:[日下 一也], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[日下 一也], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 国内講演発表 [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1. (英) Taniguchi Daisuke (日) 谷口 大輔 (読) たにぐち だいすけ
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3.英 崇夫
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Effect of Sputtering Power on Residual Stress and Crystal Orientation in AlN Films Deposited by RF and DC Sputtering  (日) AlNスパッタリング膜の結晶配向性および残留応力の放電電力依存性   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意):
キーワード (推奨):
発行所 (推奨): 日本材料学会 [継承]
誌名 (必須): (英) Proceedings of the 35th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials (日) 第35回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 (読) だいさんじゅうごかい えっくすせんざいりょうきょうどにかんするシンポジウムこうえんろんぶんしゅう
ISSN (任意):
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(必須):
(必須):
(必須): 115 119 [継承]
都市 (必須): 京都 (Kyoto/[日本国]) [継承]
年月日 (必須): 西暦 1999年 9月 2日 (平成 11年 9月 2日) [継承]
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和文冊子 ● 谷口 大輔, 日下 一也, 英 崇夫, 富永 喜久雄 : AlNスパッタリング膜の結晶配向性および残留応力の放電電力依存性, 第35回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集, (巻), (号), 115-119, 1999年9月.
欧文冊子 ● Daisuke Taniguchi, Kazuya Kusaka, Takao Hanabusa and Kikuo Tominaga : Effect of Sputtering Power on Residual Stress and Crystal Orientation in AlN Films Deposited by RF and DC Sputtering, Proceedings of the 35th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials, (巻), (号), 115-119, Sep. 1999.

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