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登録内容 (EID=24611)

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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Kikuma Takuya (日) (読)
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4.英 崇夫
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) The generation of intense flux of energetic oxygen ions in the sputtering of Zr target in Ar+O2 atmosphere is investigated. The energetic negative oxygen ions were detected using a constructed probe. The photoemission intensity of sputtered Zr atoms was observed in order to monitor the surface oxidization of the Zr target. The results indicate that the surface of the Zr target undergoes rapid oxidization during sputtering. The generation of the intense flux of energetic negative oxygen ions is considered to occur as a result of sputtering the heavily oxidized Zr target.  (日) Ar+O2雰囲気でZrターゲットスパッタリング中のエネルギを持った酸素イオンの激しい流れの発生を調べた.負のエネルギを持つ酸素イオンは,constructedプローブを用いて検出される.Zrターゲットの表面酸化を監視するために,スパッタされたZr原子の光電子放出強度を観察した.Zrターゲットの表面はスパッタリング中に急速な酸化を受けることが示された.負のエネルギを持つ酸素イオンの激しい流れの発生は,スパッタリングの結果として,Zrターゲットが激しく酸化することが考えられる.   [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) energetic oxygen (日) (読) [継承]
2. (英) Zr-oxides (日) (読) [継承]
3. (英) film degradation (日) (読) [継承]
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Vacuum ([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)

ISSN (任意): 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 66 [継承]
(必須): 3-4 [継承]
(必須): 279 284 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2002年 8月 19日 (平成 14年 8月 19日) [継承]
URL (任意): http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW4-455VK47-5&_coverDate=08%2F19%2F2002&_alid=193593723&_rdoc=1&_fmt=&_orig=search&_qd=1&_cdi=5552&_sort=d&view=c&_acct=C000008258&_version=1&_urlVersion=0&_userid=106892&md5=9f8aa1cfaf96670e060f0e5f16de1261 [継承]
DOI (任意): 10.1016/S0042-207X(02)00155-0    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意):
WOS (任意): 000177582000016 [継承]
Scopus (任意):
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takuya Kikuma, Kazuya Kusaka and Takao Hanabusa : Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr, Vacuum, Vol.66, No.3-4, 279-284, 2002.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takuya Kikuma, Kazuya Kusaka and Takao Hanabusa : Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr, Vacuum, Vol.66, No.3-4, 279-284, 2002.

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