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登録内容 (EID=244951)

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種別 (必須): 国内講演発表 [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
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組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1. (英) (日) 中野 由崇 (読)
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学籍番号 (推奨):
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2. (英) (日) 中村 圭二 (読)
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学籍番号 (推奨):
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3. (英) (日) 新部 正人 (読)
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学籍番号 (推奨):
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4.川上 烈生 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
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5. (英) (日) 伊藤 慎祥 (読)
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学籍番号 (推奨):
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6. (英) (日) 小高 拓也 (読)
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学籍番号 (推奨):
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7.稲岡 武
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8.富永 喜久雄
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学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英)   (日) GaNのArプラズマエッチングへのUV 光照射効果   [継承]
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発行所 (推奨):
誌名 (必須): (英) (日) 第59回春季応用物理学会学術講演会 (読)
ISSN (任意):
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(必須): 1 [継承]
(必須): [継承]
都市 (必須): (英) (日) 日本 (読) [継承]
年月日 (必須): 西暦 2012年 3月 26日 (平成 24年 3月 26日) [継承]
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和文冊子 ● 中野 由崇, 中村 圭二, 新部 正人, 川上 烈生, 伊藤 慎祥, 小高 拓也, 稲岡 武, 富永 喜久雄 : GaNのArプラズマエッチングへのUV 光照射効果, 第59回春季応用物理学会学術講演会, No.1, 2012年3月.
欧文冊子 ● 中野 由崇, 中村 圭二, 新部 正人, Retsuo Kawakami, 伊藤 慎祥, 小高 拓也, Takeshi Inaoka and Kikuo Tominaga : GaNのArプラズマエッチングへのUV 光照射効果, 第59回春季応用物理学会学術講演会, No.1, March 2012.

関連情報

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