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登録内容 (EID=23690)

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種別 (必須): 学術レター (ショートペーパー) [継承]
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組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1. (英) Basak Durga (日) (読)
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2. (英) Yamashita Kenji (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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3. (英) Sugahara Tomoya (日) (読)
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貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Nakagawa Daisuke (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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5. (英) Fareed RS Qhalid (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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6.西野 克志 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
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学籍番号 (推奨):
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7.酒井 士郎
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題名 (必須): (英) Selective etching of GaN over AlxGa1-xN using Reactive Ion Plasma of Cl2/CH4/Ar gas Mixture  (日)    [継承]
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発行所 (推奨):
誌名 (必須): Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes) ([応用物理学会])
(resolved by 0021-4922)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1347-4065)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])

ISSN (任意):
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(必須): 38 [継承]
(必須): 1A [継承]
(必須): 42 43 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1999年 2月 1日 (平成 11年 2月 1日) [継承]
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和文冊子 ● Durga Basak, Kenji Yamashita, Tomoya Sugahara, Daisuke Nakagawa, Qhalid RS Fareed, Katsushi Nishino and Shiro Sakai : Selective etching of GaN over AlxGa1-xN using Reactive Ion Plasma of Cl2/CH4/Ar gas Mixture, Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes), Vol.38, No.1A, 42-43, 1999.
欧文冊子 ● Durga Basak, Kenji Yamashita, Tomoya Sugahara, Daisuke Nakagawa, Qhalid RS Fareed, Katsushi Nishino and Shiro Sakai : Selective etching of GaN over AlxGa1-xN using Reactive Ion Plasma of Cl2/CH4/Ar gas Mixture, Japanese Journal of Applied Physics, Part 1 (Regular Papers & Short Notes), Vol.38, No.1A, 42-43, 1999.

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