『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
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登録内容 (EID=22401)

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種別 (必須): 国際会議 [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Kikuma Takuya (日) 喜久間 拓也 (読) きくま たくや
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4.英 崇夫
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) Ar+O2中のZrの反応性スパッタにおいて強い高速酸素が生成することを見出した.これはZrターゲット表面は酸素雰囲気中で,ターゲットの一部が酸化されている状態の金属モードでのスパッタでは急激に酸化が進むことを示す.また,ターゲット表面全体が酸化されている酸化モードのスパッタでは,非常に厚い酸化膜層が形成されていることを示す.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨): (英) ISSP2001 (日) (読) [継承]
誌名 (必須): (英) Proc. 6th International Symposium on Sputtering &Plasma Processes (日) (読)
ISSN (任意):
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(必須):
(必須):
(必須): 434 437 [継承]
都市 (必須): 金沢 (Kanazawa/[日本国]) [継承]
年月日 (必須): 西暦 2001年 6月 13日 (平成 13年 6月 13日) [継承]
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指導教員 (推奨):
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和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takuya Kikuma, Kazuya Kusaka and Takao Hanabusa : Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr, Proc. 6th International Symposium on Sputtering &Plasma Processes, (巻), (号), 434-437, Kanazawa, June 2001.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Takuya Kikuma, Kazuya Kusaka and Takao Hanabusa : Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr, Proc. 6th International Symposium on Sputtering &Plasma Processes, (巻), (号), 434-437, Kanazawa, June 2001.

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