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登録内容 (EID=22395)

EID=22395EID:22395, Map:0, LastModified:2017年4月30日(日) 18:27:51, Operator:[大家 隆弘], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
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共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Kikuma Takuya (日) 喜久間 拓也 (読) きくま たくや
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Energetic oxygen ions in the reactive sputtering of the Zr target in Ar+O2 atmosphere  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) Ar+O2のガスの中でZrをスパッタするとき,Znのスパッタ」と比べ非常に強い高速酸素イオン束が発生する.また,高速酸素とスパッタ金属の実験データは酸素分圧の増大とともに,ある酸素分圧まではZr とZn とでは同様な振る舞いを示す.しかし,それ以上の酸素分圧の上昇では,高速酸素はZnの場合一定値に落ち着くのに対して,Zrの場合はさらに上昇する.スパッタ金属はいずれの場合も同じである.このような結果は,Zr表面全体が酸化膜で覆われた後も,さらに内部へ向かって酸化が進んでいくことで説明できる.   [継承]
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発行所 (推奨):
誌名 (必須): Journal of Vacuum Science & Technology A (American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)

ISSN (任意): 0734-2101
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
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(必須): 19 [継承]
(必須):
(必須): 1582 1585 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2001年 1月 1日 (平成 13年 1月 1日) [継承]
URL (任意):
DOI (任意): 10.1116/1.1368664    (→Scopusで検索) [継承]
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標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga and Takuya Kikuma : Energetic oxygen ions in the reactive sputtering of the Zr target in Ar+O2 atmosphere, Journal of Vacuum Science & Technology A, Vol.19, (号), 1582-1585, 2001.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga and Takuya Kikuma : Energetic oxygen ions in the reactive sputtering of the Zr target in Ar+O2 atmosphere, Journal of Vacuum Science & Technology A, Vol.19, (号), 1582-1585, 2001.

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