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登録内容 (EID=220621)

EID=220621EID:220621, Map:0, LastModified:2019年7月14日(日) 20:02:44, Operator:[大家 隆弘], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[安井 武史], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.応用物理学会 [継承]
著者 (必須): 1. (英) Nakamura Nobutomo (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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2. (英) Ogi Hirotsugu (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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3. (英) Nitta Hiroki (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Tanei Hiroshi (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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5. (英) Fujii Makoto (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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6.安井 武史 ([徳島大学.ポストLEDフォトニクス研究所]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
役割 (任意):
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学籍番号 (推奨):
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7. (英) Hirao Masahiko (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Study of elastic anisotropy of Cu thin films by resonant-ultrasound spectroscopy coupled with laser-doppler interferometry and pump-probe photoacoustics  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) Understating elastic properties of thin films is a matter of deep interest both in scientific and industrial fields. In this paper, we propose a combination of resonant-ultrasound spectroscopy coupled with the laser-Doppler interferometry and pump-probe photoacoustics for measuring anisotropic elastic constants of deposited thin films. Among the five independent elastic constants, the resonant-ultrasound spectroscopy is sensitive to the in-plane elastic constants, $C_{11}$, $C_{13}$, and $C_{66}$, and pump-probe photoacoustics to the out-of-plane elastic constant, $C_{33}$. We apply this to Cu thin films deposited on monocrystalline Si substrates by the magnetron-sputtering method. Cu thin films show elastic anisotropy, $C_{33}>C_{11}$. The cause of this elastic anisotropy is attributed to the textured structure and the columnar structure. These effects are estimated by X-ray diffraction measurements and micromechanics calculations.  (日)    [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) Cu thin film (日) (読) [継承]
2. (英) elastic constants (日) (読) [継承]
発行所 (推奨): 応用物理学会 [継承]
誌名 (必須): Japanese Journal of Applied Physics ([応用物理学会])
(pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)

ISSN (任意): 0021-4922
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
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(必須): 45 [継承]
(必須): 5B [継承]
(必須): 4580 4584 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2006年 5月 25日 (平成 18年 5月 25日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/150000047164/ [継承]
DOI (任意): 10.1143/JJAP.45.4580    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 40007278301 [継承]
WOS (任意):
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被引用数 (任意):
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標準的な表示

和文冊子 ● Nobutomo Nakamura, Hirotsugu Ogi, Hiroki Nitta, Hiroshi Tanei, Makoto Fujii, Takeshi Yasui and Masahiko Hirao : Study of elastic anisotropy of Cu thin films by resonant-ultrasound spectroscopy coupled with laser-doppler interferometry and pump-probe photoacoustics, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.45, No.5B, 4580-4584, 2006.
欧文冊子 ● Nobutomo Nakamura, Hirotsugu Ogi, Hiroki Nitta, Hiroshi Tanei, Makoto Fujii, Takeshi Yasui and Masahiko Hirao : Study of elastic anisotropy of Cu thin films by resonant-ultrasound spectroscopy coupled with laser-doppler interferometry and pump-probe photoacoustics, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.45, No.5B, 4580-4584, 2006.

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