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登録内容 (EID=186924)

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種別 (必須): 国内講演発表 [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
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組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.川上 烈生 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.電気電子系.物性デバイス分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.電気電子システムコース.物性デバイス講座])
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2. (英) (日) 稲岡 武 (読)
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3.富永 喜久雄
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4. (英) (日) 向井 孝志 (読)
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題名 (必須): (英)   (日) GaNエッチングダメージへのアルゴンプラズマ粒子と紫外放射光のシナジー効果   [継承]
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発行所 (推奨):
誌名 (必須): (英) (日) 第69回秋季応用物理学会学術講演会論文集 (読)
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(必須): [継承]
(必須): 1 [継承]
(必須): 175 175 [継承]
都市 (必須): (英) (日) 日本 (読) [継承]
年月日 (必須): 西暦 2008年 9月 3日 (平成 20年 9月 3日) [継承]
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和文冊子 ● 川上 烈生, 稲岡 武, 富永 喜久雄, 向井 孝志 : GaNエッチングダメージへのアルゴンプラズマ粒子と紫外放射光のシナジー効果, 第69回秋季応用物理学会学術講演会論文集, No.1, 175, 2008年9月.
欧文冊子 ● Retsuo Kawakami, 稲岡 武, Kikuo Tominaga and 向井 孝志 : GaNエッチングダメージへのアルゴンプラズマ粒子と紫外放射光のシナジー効果, 第69回秋季応用物理学会学術講演会論文集, No.1, 175, Sep. 2008.

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