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EID=178171EID:178171, Map:0, LastModified:2014年2月26日(水) 20:14:11, Operator:[大家 隆弘], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[三輪 昌史], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.和歌山大学 [継承]
2.和歌山大学 [継承]
3.徳島大学 [継承]
4.独立行政法人 産業技術総合研究所 [継承]
著者 (必須): 1. (英) Kunitomo Kikuchi (日) 菊地 邦友 (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Shigeki Tuchitani (日) 土谷 茂樹 (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3.三輪 昌史 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.知能機械学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.知能機械学講座])
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Kinji Asaka (日) 安積 欣志 (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Formation of Patterned Electrode on Solid Polymer Electrolyte using Photolithography Technique  (日) フォトリソグラフィー技術を用いた固体高分子電解質膜へのパターン電極形成   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) An Ionic Polymer-Metal Composite (IPMC) consists of a thin ionomeric membrane with noble metal electrodes formed on both surfaces. IPMCs have a potential as soft robotic actuators and artificial muscles with several advantages such as flexibility, light weight, and low driving voltages. Highly durable IPMCs will be fabricated using an electroless chemical plating technique to form metal electrodes. In this study, a fabrication method for patterning electrodes with a size of several micrometers has been developed to realize IPMCs, which will be capable of a peristaltic movement. A selective electroless gold plating and an epoxy-resin based photoresist are applied for patterning electrodes. By using a photomask with a pattern-size of 50 μn, patterned electrodes are formed on an ionomer (Nafion) membrane, resulting in the size of 65 μm. This pattern size is much smaller than that in conventional patterning methods using a selective electroless plating technique and masking tapes or stencil masks. The sheet resistance of the fabricated electrodes is lower than 30 Ω/ , which is almost same order of magnitude as that of electrodes formed by the conventional electroless plating without photolithography.  (日)    [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) Solid polymer electrolyte (日) (読) [継承]
2. (英) Photolithography (日) (読) [継承]
3. (英) Electroless plating (日) (読) [継承]
4. (英) IPMC (日) (読) [継承]
5. (英) Patterned electrode (日) (読) [継承]
発行所 (推奨): 社団法人 精密工学会 [継承]
誌名 (必須): 精密工学会誌 ([社団法人 精密工学会])
(pISSN: 0912-0289, eISSN: 1882-675X)

ISSN (任意): 0912-0289
ISSN: 0912-0289 (pISSN: 0912-0289, eISSN: 1882-675X)
Title: 精密工学会誌
Supplier: 公益社団法人精密工学会
Publisher: Seimitsu Kogakkai/The Japan Society for Precision Engineering
 (Webcat Plus  (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 74 [継承]
(必須): 7 [継承]
(必須): 719 723 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2008年 7月 5日 (平成 20年 7月 5日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/110006827292/ [継承]
DOI (任意): 10.2493/jjspe.74.719    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 110006827292 [継承]
WOS (任意):
Scopus (任意): 2-s2.0-77955373415 [継承]
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● 菊地 邦友, 土谷 茂樹, 三輪 昌史, 安積 欣志 : フォトリソグラフィー技術を用いた固体高分子電解質膜へのパターン電極形成, 精密工学会誌, Vol.74, No.7, 719-723, 2008年.
欧文冊子 ● Kikuchi Kunitomo, Tuchitani Shigeki, Masafumi Miwa and Asaka Kinji : Formation of Patterned Electrode on Solid Polymer Electrolyte using Photolithography Technique, Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Vol.74, No.7, 719-723, 2008.

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