『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
ID: Pass:

登録内容 (EID=17548)

EID=17548EID:17548, Map:0, LastModified:2013年12月11日(水) 15:08:36, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.英 崇夫
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
2.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
3. (英) (日) 藤原 晴夫 (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
題名 (必須): (英)   (日) c軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力解析   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 優れた耐熱性や熱伝導特性また圧電特性などで高温材料として,また表面弾性波素子への応用に有望とされるAlN膜に対する新しいX線残留応力解析法を提案した.ガラス基板上にスパッタリング法で作成したAlN膜は極めて強いc軸配向性を有し,通常のX線応力解析法の適用はまったく不可能である.低回折角度領域での格子ひずみ測定の可能な側傾法を利用し,c軸に対して傾いた方向に法線をもつ種々の(hkl)面の格子ひずみを測定する新しい解析法を提案した.この方法により,X線応力測定としては極めて不利な条件にあるc軸配向AlN膜の残留応力測定が可能になった.   [継承]
キーワード (推奨): 1.X線応力測定 (X-ray stress measurement) [継承]
2. (英) AIN films (日) (読) [継承]
3. (英) Preferred orientation (日) (読) [継承]
4. (英) C-axix orientation (日) (読) [継承]
発行所 (推奨): 日本材料学会 [継承]
誌名 (必須): 材料 ([日本材料学会])
(pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)

ISSN (任意): 0514-5163
ISSN: 0514-5163 (pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
Title: 材料
Supplier: 社団法人日本材料学会
Publisher: Society of Materials Science Japan
 (Webcat Plus  (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
[継承]
[継承]
(必須): 42 [継承]
(必須): 472 [継承]
(必須): 90 95 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1992年 1月 1日 (平成 4年 1月 1日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/110002298851/ [継承]
DOI (任意): 10.2472/jsms.42.90    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 110002298851 [継承]
WOS (任意):
Scopus (任意):
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● 英 崇夫, 富永 喜久雄, 藤原 晴夫 : c軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力解析, 材料, Vol.42, No.472, 90-95, 1992年.
欧文冊子 ● Takao Hanabusa, Kikuo Tominaga and 藤原 晴夫 : c軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力解析, Journal of the Society of Materials Science, Japan, Vol.42, No.472, 90-95, 1992.

関連情報

Number of session users = 1, LA = 1.67, Max(EID) = 360832, Max(EOID) = 966486.