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登録内容 (EID=172118)

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種別 (必須): 国内講演発表 [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
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カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
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学究種別 (推奨):
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著者 (必須): 1.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
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2.富永 喜久雄
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3.英 崇夫
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題名 (必須): (英)   (日) GaNスパッタ膜の結晶配向性と内部応力の基盤温度依存性   [継承]
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誌名 (必須): (英) (日) 平成14年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集 (読)
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(必須):
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(必須): 186 186 [継承]
都市 (必須): (英) (日) 詫間電波高専 (読) [継承]
年月日 (必須): 西暦 2002年 10月 5日 (平成 14年 10月 5日) [継承]
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和文冊子 ● 日下 一也, 富永 喜久雄, 英 崇夫 : GaNスパッタ膜の結晶配向性と内部応力の基盤温度依存性, 平成14年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集, (巻), (号), 186, 2002年10月.
欧文冊子 ● Kazuya Kusaka, Kikuo Tominaga and Takao Hanabusa : GaNスパッタ膜の結晶配向性と内部応力の基盤温度依存性, 平成14年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集, (巻), (号), 186, Oct. 2002.

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