『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
ID: Pass:

登録内容 (EID=16735)

EID=16735EID:16735, Map:0, LastModified:2014年4月30日(水) 10:36:41, Operator:[松井 栄里], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[森賀 俊広], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
2.徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
2. (英) Murayama Kazutaka (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
3. (英) Mori Ichiro (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
4. (英) Okamoto Takashi (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
5. (英) Hiruta Kazunori (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
6.森賀 俊広 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
7.中林 一朗
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
題名 (必須): (英) Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) ZnOとIn2O3の2つのターゲットを同時スパッタすることでZnO-In2O3の2元系酸化物のスパッタ膜を作製した.Zn/(Zn+In)組成比が0.5,基板温度250℃でZn2In2O5のホモロガス結晶ガ得られ,300μΩcmの抵抗率であった.組成比の増大で,Zn3In2O6が得られたが,抵抗率の増大を示した.組成比が0.3,基板温度150℃においてアモルファス膜が作製され,抵抗率もやはり300μΩcmを示した.キャリア密度は0.5-1.0x10^21cm-3の大きな値を示した.これはZn原子がZnOになるとき,In2O3から酸素を奪うため,このような高密度の酸素欠損が生じたと考えられる.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Vacuum ([Elsevier Science])
(resolved by 0042-207X)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-2715)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])

ISSN (任意):
[継承]
(必須): 59 [継承]
(必須):
(必須): 546 552 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2000年 1月 1日 (平成 12年 1月 1日) [継承]
URL (任意):
DOI (任意): 10.1016/S0042-207X(00)00314-6    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意):
WOS (任意): 000165157100024 [継承]
Scopus (任意): 2-s2.0-0000845773 [継承]
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Kazutaka Murayama, Ichiro Mori, Takashi Okamoto, Kazunori Hiruta, Toshihiro Moriga and Ichiro Nakabayashi : Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets, Vacuum, Vol.59, (号), 546-552, 2000.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Kazutaka Murayama, Ichiro Mori, Takashi Okamoto, Kazunori Hiruta, Toshihiro Moriga and Ichiro Nakabayashi : Conductive transparent films deposited by simultaneous sputtering of zinc-oxide and indium-oxide targets, Vacuum, Vol.59, (号), 546-552, 2000.

関連情報

Number of session users = 5, LA = 0.65, Max(EID) = 360729, Max(EOID) = 966221.