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登録内容 (EID=16733)

EID=16733EID:16733, Map:0, LastModified:2013年8月27日(火) 11:39:59, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2. (英) Murayama Kazutaka (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3. (英) Sato Yoshifumi (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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4. (英) Mori Ichiro (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Energetic oxygen particles in the reactive sputtering of Zn targets in Ar/O2 atmosphere  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) プレーナマグネトロンスパッタ法で生じた高速酸素原子を飛行時間法で観測し,そのエネルギーと粒子束を評価した.Zn ターゲットをAr/O2混合ガス中で,ガス圧を5mTorr一定の条件でスパッタしたときの,高速酸素粒子束とZnターゲット表面での酸化の度合いはいずれも酸素分圧の上昇とともに増す.この結果は高速酸素や負イオンがZnターゲットの酸化領域から精製していることを示す.また,論文ではこの事実に基づいて,校則酸素の酸素分圧依存性をあらわす式を導いた.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Thin Solid Films ([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
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ISSN (任意):
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(必須): 343-344 [継承]
(必須): [継承]
(必須): 81 84 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1999年 1月 1日 (平成 11年 1月 1日) [継承]
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和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Kazutaka Murayama, Yoshifumi Sato and Ichiro Mori : Energetic oxygen particles in the reactive sputtering of Zn targets in Ar/O2 atmosphere, Thin Solid Films, Vol.343-344, 81-84, 1999.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Kazutaka Murayama, Yoshifumi Sato and Ichiro Mori : Energetic oxygen particles in the reactive sputtering of Zn targets in Ar/O2 atmosphere, Thin Solid Films, Vol.343-344, 81-84, 1999.

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