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『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
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登録内容 (EID=16160)
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LastModified :2007年5月11日(金) 14:08:48,
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○カテゴリ (必須) : □ 研究
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○団体 (必須) : □ 日本材料学会
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○名称 (必須) : □ (英) (日) 日本材料学会論文賞 (読) にほんざいりょうがっかいろんぶんしょう
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○組織 (推奨) : 1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 (〜2023年3月31日)
[継承]
2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 (〜2023年3月31日)
[継承]
○受賞者 (必須) : 1. 英 崇夫
[継承]
2. 富永 喜久雄
[継承]
3. 日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
[継承]
○テーマ (必須) : □ (英) (日) AlN膜のX線的残留応力測定第1報「C軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力測定」,第2報「スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板依存性」
[継承]
○年月日 (必須) : □ 西暦 1994年 5月 24日 (平成 6年 5月 24日)
[継承]
○指導教員 (推奨) :
○備考 (任意) :
標準的な表示
和文冊子 ●
英 崇夫 , 富永 喜久雄 , 日下 一也 : AlN膜のX線的残留応力測定第1報「C軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力測定」,第2報「スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板依存性」, 日本材料学会論文賞, 日本材料学会 , 1994年5月.
欧文冊子 ●
Takao Hanabusa , Kikuo Tominaga and Kazuya Kusaka : AlN膜のX線的残留応力測定第1報「C軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力測定」,第2報「スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板依存性」 , 日本材料学会論文賞 , The Society of Materials Science,Japan , May 1994.
関連情報
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