『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
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登録内容 (EID=16160)

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カテゴリ (必須): 研究 [継承]
団体 (必須): 日本材料学会 [継承]
名称 (必須): (英) (日) 日本材料学会論文賞 (読) にほんざいりょうがっかいろんぶんしょう [継承]
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 (〜2023年3月31日) [継承]
2.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 (〜2023年3月31日) [継承]
受賞者 (必須): 1.英 崇夫
学籍番号 (推奨):
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2.富永 喜久雄
学籍番号 (推奨):
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3.日下 一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
学籍番号 (推奨):
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テーマ (必須): (英)   (日) AlN膜のX線的残留応力測定第1報「C軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力測定」,第2報「スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板依存性」   [継承]
年月日 (必須): 西暦 1994年 5月 24日 (平成 6年 5月 24日) [継承]
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● 英 崇夫, 富永 喜久雄, 日下 一也 : AlN膜のX線的残留応力測定第1報「C軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力測定」,第2報「スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板依存性」, 日本材料学会論文賞, 日本材料学会, 1994年5月.
欧文冊子 ● Takao Hanabusa, Kikuo Tominaga and Kazuya Kusaka : AlN膜のX線的残留応力測定第1報「C軸配向した窒化アルミニウム膜のX線的残留応力測定」,第2報「スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板依存性」, 日本材料学会論文賞, The Society of Materials Science,Japan, May 1994.

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