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登録内容 (EID=157896)

EID=157896EID:157896, Map:0, LastModified:2014年4月9日(水) 11:59:11, Operator:[松井 栄里], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[三輪 昌史], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨): 研究 [継承]
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.和歌山大学 [継承]
著者 (必須): 1. (英) (日) 土谷 茂樹 (読)
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学籍番号 (推奨):
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2.三輪 昌史 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.知能機械学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.知能機械学講座])
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学籍番号 (推奨):
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3. (英) (日) 金子 礼三 (読)
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学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Theoretical study on influence of impulity concentration on behavior of a semiconductor electrostatic actuator  (日) 半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響に関する理論的検討   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) Influence of impulity concentration on behavior of a semiconductor electrostatic actuator in low frequency drive voltage has been analyzed theoretically. The actuator has a p-type silicon movable electrode supported by cantilever beams and a metal fixed electrode opposing to the movable one. When gap width between the electrodes is fixed, capacitance between them changes depending on the drive voltage and rate of the change increases with decrease of the concentration Na (15% in Na=1014cm-3 and 0.3%in Na=1018cm-3). For Na<1016cm-3, pull-in voltage and release voltage of displacement-voltage curves increases with decrease of the concentration, especially when positive voltage is applied to the fixed electrode. For Na>1016cm-3, the impulity concentration has almost no influences on the behavior of the actuator independent of the polarity of the drive voltage.  (日)    [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) (日) 静電アクチエータ (読) [継承]
2. (英) (日) 半導体 (読) [継承]
3. (英) (日) MIS構造 (読) [継承]
4. (英) (日) C-V特性 (読) [継承]
5. (英) (日) 不純物濃度 (読) [継承]
6. (英) (日) Pull-in電圧 (読) [継承]
7. (英) (日) Release電圧 (読) [継承]
発行所 (推奨): 電気学会 [継承]
誌名 (必須): 電気学会論文誌E (センサ・マイクロマシン部門誌) ([電気学会])
(pISSN: 1341-8939, eISSN: 1347-5525)

ISSN (任意): 1341-8939
ISSN: 1341-8939 (pISSN: 1341-8939, eISSN: 1347-5525)
Title: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Supplier: 一般社団法人 電気学会
Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan
 (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 121 [継承]
(必須): 1 [継承]
(必須): 26 31 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2001年 1月 1日 (平成 13年 1月 1日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/10005725818/ [継承]
DOI (任意): 10.1541/ieejsmas.121.26    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 10005725818 [継承]
WOS (任意):
Scopus (任意):
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指導教員 (推奨):
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標準的な表示

和文冊子 ● 土谷 茂樹, 三輪 昌史, 金子 礼三 : 半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響に関する理論的検討, 電気学会論文誌E (センサ・マイクロマシン部門誌), Vol.121, No.1, 26-31, 2001年.
欧文冊子 ● 土谷 茂樹, Masafumi Miwa and 金子 礼三 : Theoretical study on influence of impulity concentration on behavior of a semiconductor electrostatic actuator, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, Vol.121, No.1, 26-31, 2001.

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