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登録内容 (EID=157698)

EID=157698EID:157698, Map:0, LastModified:2012年12月18日(火) 11:28:08, Operator:[松井 栄里], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[後藤 信夫], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 日本語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.豊橋技術科学大学 [継承]
著者 (必須): 1.後藤 信夫
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学籍番号 (推奨):
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2. (英) (日) 宮崎 保光 (読)
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学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英)   (日) 簡易型パルスステージとピエゾステージの協調制御による高精度レーザ描画システム   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) Precise patterning of optical waveguides is required in fabrication of integrated-optic circuits. In this paper, stage control for laser drawing system with 10nm precision is investigated. The precise control is performed by analog and digital feedback with pulse stages and piezo stages. Mechanical fluctuation and vibration due to pulse drive by stepping motors are compensated by piezo stage. Further, cooperation of pulse and piezo stages is demonstrated to make smooth translation of stage possible.  (日)    [継承]
キーワード (推奨): 1. (英) Laser drawing (日) パターニング (読) [継承]
2. (英) Patterning (日) フィードバック制御 (読) [継承]
3. (英) Feedback control (日) Laser drawing (読) [継承]
4. (英) Pulse stage (日) Patterning (読) [継承]
5. (英) Piezo stage (日) Feedback control (読) [継承]
6. (英) Pulse stage (日) (読) [継承]
7. (英) Piezo stage (日) (読) [継承]
発行所 (推奨): (英) The Institute of Electrical Engineers of Japan (日) 社団法人 電気学会 (読) [継承]
誌名 (必須): 電気学会論文誌C (電子,情報,システム部門誌) ([電気学会])
(pISSN: 0385-4221, eISSN: 1348-8155)

ISSN (任意): 0385-4221
ISSN: 0385-4221 (pISSN: 0385-4221, eISSN: 1348-8155)
Title: 電気学会論文誌. C
Supplier: 一般社団法人 電気学会
Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan
 (J-STAGE  (J-STAGE  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 124 [継承]
(必須): 10 [継承]
(必須): 2123 2131 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2004年 6月 初日 (平成 16年 6月 初日) [継承]
URL (任意): http://ci.nii.ac.jp/naid/10013641156/ [継承]
DOI (任意): 10.1541/ieejeiss.124.2123    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意): 10013641156 [継承]
WOS (任意):
Scopus (任意):
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
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標準的な表示

和文冊子 ● 後藤 信夫, 宮崎 保光 : 簡易型パルスステージとピエゾステージの協調制御による高精度レーザ描画システム, 電気学会論文誌C (電子,情報,システム部門誌), Vol.124, No.10, 2123-2131, 2004年.
欧文冊子 ● Nobuo Goto and 宮崎 保光 : 簡易型パルスステージとピエゾステージの協調制御による高精度レーザ描画システム, IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems, Vol.124, No.10, 2123-2131, 2004.

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