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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
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学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座 [継承]
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
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2. (英) Daisuke Ito (日) (読)
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学籍番号 (推奨):
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3. (英) Yoshinori Miyamoto (日) (読)
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題名 (必須): (英) Energetic negative ions in titanium oxide deposition by reactive sputtering in Ar/O2  (日)    [継承]
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発行所 (推奨):
誌名 (必須): Vacuum ([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)

ISSN (任意): 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
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(必須): 80 [継承]
(必須):
(必須): 654 657 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 2006年 4月 初日 (平成 18年 4月 初日) [継承]
URL (任意):
DOI (任意): 10.1016/j.vacuum.2005.11.007    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意):
WOS (任意): 000238529300003 [継承]
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和文冊子 ● Kikuo Tominaga, Ito Daisuke and Miyamoto Yoshinori : Energetic negative ions in titanium oxide deposition by reactive sputtering in Ar/O2, Vacuum, Vol.80, (号), 654-657, 2006.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Ito Daisuke and Miyamoto Yoshinori : Energetic negative ions in titanium oxide deposition by reactive sputtering in Ar/O2, Vacuum, Vol.80, (号), 654-657, 2006.

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