| ○種別 (必須): | □ | 先端技術科学教育部 (授業概要)
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| ○入学年度 (必須): | □ | 西暦 2006年 (平成 18年)
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| ○名称 (必須): | □ | (英) Plasma Science and Technology (日) プラズマ物性工学特論 (読) ぷらずまぶっせいこうがくとくろん
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| ○形態 (推奨): | 1. | 講義形式とポートフォーリオ形式の併用
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| ○コース (必須): | 1. | 2006/[徳島大学.先端技術科学教育部.システム創生工学専攻.電気電子創生工学コース]/[博士後期課程]
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| ○担当教員 (必須): | 1. | 大宅 薫
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| ○単位 (必須): | □ | 2
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| ○目的 (必須): | □ | (英) The lecture aims to understand electronic, atomic and molecular collision processes in gases and solids and to present their various applications. (日) 気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程を理解し，そのさまざまな応用についての知識を得る．
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| ○概要 (必須): | □ | (英) 1) Electronic, atomic and molecular collisions in gases and solid. Plasma physics and chemistry. Surface and materials science related to plasma-solid interactions. 2) Application to material processing technologies for electronic devices. Plasma-wall interactions in controlled thermonuclear fusion devices. (日) 1)気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程について述べ，それらのプラズマ物理学，プラズマ化学，表面科学，材料科学などとの関連について講義する．2)プラズマ材料デバイスプロセスへの応用，核融合プラズマ·壁相互作用について紹介する．
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| ○キーワード (推奨): | 1. | プラズマ (plasma)
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| 2. | (英) collision theory (日) 衝突理論 (読)
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| 3. | (英) plasma-surface interaction (日) プラズマ·表面相互作用 (読)
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| 4. | (英) plasma applications (日) プラズマ応用 (読)
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| ○先行科目 (推奨): |
| ○関連科目 (推奨): |
| ○要件 (任意): |
| ○注意 (任意): |
| ○目標 (必須): | 1. | (英) Understanding on collision processes in gases and solids (日) 気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程を理解する．
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| 2. | (英) Understanding on applications to material processing technologies and plasma-wall interactions in controlled thermonuclear fusion devices. (日) プラズマ材料デバイスプロセス，核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用について理解する．
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| ○計画 (必須): | 1. | (英) Introduction to collision theory (日) 衝突理論の初歩
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| 2. | (英) Interaction potential (日) 相互作用ポテンシャル
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| 3. | (英) Elastic collision and nuclear stopping power (日) 弾性衝突と核的阻止能
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| 4. | (英) Inelastic collision and electronic stopping power (日) 非弾性衝突と電子的阻止能
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| 5. | (英) Inelastic processes in gases (日) 気体中の非弾性衝突過程
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| 6. | (英) Electron and Ion transport in gases (日) 気体中の電子とイオンの輸送
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| 7. | (英) Reflection and thermal re-emission from solids (日) 固体表面でのイオン反射と再放出
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| 8. | (英) Collision mixing and diffusions in solids (日) 固体内の衝突ミキシングと拡散
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| 9. | (英) Physical sputtering and chemical sputtering (日) 物理スパッタリングと化学スパッタリング
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| 10. | (英) Plasma chemical vapor deposition deposition (日) プラズマCVD
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| 11. | (英) Plasma-assisted etching (日) プラズマ·エッチング
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| 12. | (英) Other applications to material device processing (日) その他の材料デバイスプロセスへの応用
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| 13. | (英) Plasma-wall interactions in nuclear fusion devices (日) 核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用
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| 14. | (英) Edge plasma physics (日) 周辺プラズマ物理
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| 15. | (英) Hydrogen recycling and material erosion (日) 水素リサイクリングと材料損耗
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| 16. | (英) Conclusions and future problems (日) まとめと今後の課題
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| ○評価 (必須): |
| ○再評価 (必須): |
| ○対象学生 (任意): |
| ○教科書 (必須): |
| ○参考資料 (推奨): |
| ○URL (任意): |
| ○連絡先 (推奨): | 1. | 大宅 薫
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| ○科目コード (推奨): |
| ○備考 (任意): |
【授業概要】(2006/プラズマ物性工学特論)
【教育プログラム】…(2)