『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
ID: Pass:

登録内容 (EID=120332)

EID=120332EID:120332, Map:0, LastModified:2013年8月26日(月) 16:31:49, Operator:[三木 ちひろ], Avail:TRUE, Censor:0, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.
種別 (必須): その他·研究会 [継承]
言語 (必須):
招待 (推奨):
審査 (推奨):
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨):
著者 (必須): 1.富永 喜久雄
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
2. (英) Sueyoshi Yasuhiko (日) 末吉 康彦 (読) すえよし やすひこ
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
3. (英) Imai Hiroshi (日) 今井 拓 (読) いまい ひろし
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
4. (英) Shintani Yoshihiro (日) 新谷 義広 (読) しんたに よしひろ
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
題名 (必須): (英)   (日) 酸化物のスパッタリングにおける高速負イオン束のTOF法による測定   [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英) The flux of energetic negative ions was observed by an TOF apparatus for the sputtering of ZnO:Al target. It was confirmed that there exist the flux of O-, O2-, O and O2. Gas pressure dependence of TOF signals due to the fluxes of O-, O2-, O and O2 was observed. The relative intensities of the flux es of O and O- ions was estimated. It is found that the flux of O- ions becomes strong at lower gas pressures below 5x10-3 Torr in Ar gas.  (日) ZnO:AlターゲットをArガス中でスパッタしたときの高速酸素負イオン,高速酸素原子,高速酸素分子の負イオン,高速酸素分子についてTOF法により評価した.高速酸素と高速酸素負イオンの相対強度を評価した.その結果,5x10-3Torr以下のArガス中では,高速酸素負イオンが強くなることを見出した.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨): (英) BEAMS 1992 (日) BEAMS 1992 (読) [継承]
誌名 (必須): (英) Proceedings of the Third Symposium on Beam Engineering of Advanced materia Syntheses including Bio-Medical Materials and Treatments (日) 第3回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム (読)
ISSN (任意):
[継承]
(必須): [継承]
(必須): [継承]
(必須): 473 476 [継承]
都市 (必須): 東京 (Tokyo/[日本国]) [継承]
年月日 (必須): 西暦 1992年 11月 初日 (平成 4年 11月 初日) [継承]
URL (任意):
DOI (任意):
PMID (任意):
NAID (任意):
WOS (任意):
Scopus (任意):
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● 富永 喜久雄, 末吉 康彦, 今井 拓, 新谷 義広 : 酸化物のスパッタリングにおける高速負イオン束のTOF法による測定, 第3回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム, 473-476, 1992年11月.
欧文冊子 ● Kikuo Tominaga, Yasuhiko Sueyoshi, Hiroshi Imai and Yoshihiro Shintani : 酸化物のスパッタリングにおける高速負イオン束のTOF法による測定, Proceedings of the Third Symposium on Beam Engineering of Advanced materia Syntheses including Bio-Medical Materials and Treatments, 473-476, Nov. 1992.

関連情報

Number of session users = 0, LA = 3.29, Max(EID) = 360825, Max(EOID) = 966461.