『徳島大学 教育・研究者情報データベース (EDB)』---[学外] /
登録内容 (EID=119811)
EID=119811 | EID:119811,
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LastModified:2014年11月6日(木) 16:16:27,
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Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.機械工学科]],
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○学科・専攻 (必須): | 1. | 徳島大学.工学研究科.機械工学専攻 (〜2011年3月31日)
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○学位 (必須): | □ | 修士
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○言語 (推奨): |
○氏名 (必須): |
○題名 (必須): | □ | (英) (日) DC-マグネトロンスパッタリング装置で成膜したSiOx膜およびSiOxNy膜のガスバリア特性について
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○副題 (任意): |
○要約 (任意): |
○キーワード (推奨): |
○年月日 (必須): | □ | 西暦 2005年 3月 25日 (平成 17年 3月 25日)
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○指導教員 (必須): | 1. | 村上 理一
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○指導協力教員 (任意): |
○審査教員 (必須): | 1. | 村上 理一
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| 2. | 英 崇夫
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| 3. | 海江田 義也
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○備考 (任意): |
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標準的な表示
和文冊子 ● |
[修士] : (氏名) : DC-マグネトロンスパッタリング装置で成膜したSiOx膜およびSiOxNy膜のガスバリア特性について, 2005年3月, 村上 理一 [村上 理一, 英 崇夫, 海江田 義也]. |
欧文冊子 ● |
[修士] : (氏名) : DC-マグネトロンスパッタリング装置で成膜したSiOx膜およびSiOxNy膜のガスバリア特性について, 2005年3月, 村上 理一 [村上 理一, 英 崇夫, 海江田 義也]. |
関連情報
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