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登録内容 (EID=117217)

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種別 (必須): 学術論文 (審査論文) [継承]
言語 (必須): 英語 [継承]
招待 (推奨):
審査 (推奨): Peer Review [継承]
カテゴリ (推奨):
共著種別 (推奨):
学究種別 (推奨):
組織 (推奨): 1.徳島大学.工学部.機械工学科.機械科学講座 [継承]
著者 (必須): 1. (英) Fukugami, Norihito (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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2.西野 秀郎 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.材料科学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.材料科学講座])
役割 (任意): 共著 [継承]
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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3. (英) Yanaka, Masaaki (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
[継承]
4. (英) Tomiyama, Kozue (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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5. (英) Tsukahara, Yusuke (日) (読)
役割 (任意):
貢献度 (任意):
学籍番号 (推奨):
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題名 (必須): (英) Density measurement of thin glass layers for gas barrier films  (日)    [継承]
副題 (任意):
要約 (任意): (英)   (日) 高分子フィルム上に蒸着で作成された10-100メートルオーダーのSiOx薄膜の密度計測方法を示した.密度の正確な計測と制御は,薄膜の機能発現のためには欠かせないプロセルである.シリコン単結晶上に作成したSiOx薄膜に対し,リソグラフを用いて縞状に薄膜を除去しAFMによる詳細計測で実現させた.結果,蒸着条件により異なるが,2.14-2.19g/cm3の値を得ることが出来た.詳しい測定方法と結果を示す.   [継承]
キーワード (推奨):
発行所 (推奨):
誌名 (必須): Journal of Vacuum Science & Technology A (American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(resolved by 0734-2101)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1520-8559)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])

ISSN (任意):
[継承]
(必須): A17 [継承]
(必須): 4 [継承]
(必須): 1840 1842 [継承]
都市 (任意):
年月日 (必須): 西暦 1999年 7月 初日 (平成 11年 7月 初日) [継承]
URL (任意):
DOI (任意): 10.1116/1.581901    (→Scopusで検索) [継承]
PMID (任意):
NAID (任意):
WOS (任意):
Scopus (任意): 2-s2.0-0013061744 [継承]
評価値 (任意):
被引用数 (任意):
指導教員 (推奨):
備考 (任意):

標準的な表示

和文冊子 ● Norihito Fukugami, Hideo Nishino, Masaaki Yanaka, Kozue Tomiyama and Yusuke Tsukahara : Density measurement of thin glass layers for gas barrier films, Journal of Vacuum Science & Technology A, Vol.A17, No.4, 1840-1842, 1999.
欧文冊子 ● Norihito Fukugami, Hideo Nishino, Masaaki Yanaka, Kozue Tomiyama and Yusuke Tsukahara : Density measurement of thin glass layers for gas barrier films, Journal of Vacuum Science & Technology A, Vol.A17, No.4, 1840-1842, 1999.

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