EDB [[松尾繁樹]/[三澤弘明]/フェムト秒レーザを用いた微細加工/[高温学会誌]] (103996)

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EID:103996, Map:0, LastModified:2023年9月6日(水) 13:46:52, Operator:[[ADMIN]], Avail:TRUE, Censor:承認済, Owner:[[学科長]/[徳島大学.工学部.光応用工学科]], Read:継承, Write:継承, Delete:継承.

○種別 (必須):

□

総説·解説

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○言語 (必須):

○招待 (推奨):

○審査 (推奨):

○カテゴリ (推奨):

○共著種別 (推奨):

○学究種別 (推奨):

○組織 (推奨):

1.

徳島大学.工学研究科.エコシステム工学専攻.資源循環工学講座 (〜2014年3月31日)

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○著者 (必須):

1.

松尾繁樹

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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2.

三澤弘明 ([北海道大学])

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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○題名 (必須):

□

(英) Microfabrication Using Femtosecond Laser (日) フェムト秒レーザを用いた微細加工

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○副題 (任意):

○要約 (任意):

□

(英) (日) フェムト秒レーザーを用いた微細加工，特にフェムト秒レーザーパルスの集光照射とそれに続くウエットエッチングによる三次元マイクロ流路の作製について概説した．

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○キーワード (推奨):

1.

フェムト秒レーザー (femtosecond laser)

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2.

(英) Microfabrication (日) (読)

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3.

フェムト秒レーザー支援エッチング (femtosecond laser-assisted etching)

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4.

(英) Sapphire (日) (読)

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○発行所 (推奨):

□

社団法人高温学会

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○誌名 (必須):

□

高温学会誌 ([社団法人高温学会])

(pISSN: 0387-1096)

○ISSN (任意):

□

0387-1096

ISSN: 0387-1096 (pISSN: 0387-1096)
Title: 高温学会誌
Supplier: 一般社団法人スマートプロセス学会 (旧高温学会)
Publisher: Sumart Processing Society for Materials, Environment and Energy
(J-STAGE) (CrossRef) (No Scopus information.)

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○巻 (必須):

□

30

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○号 (必須):

□

2

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○頁 (必須):

□

77 81

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○都市 (任意):

○年月日 (必須):

□

西暦 2004年 3月 30日 (平成 16年 3月 30日)

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○URL (任意):

□

http://ci.nii.ac.jp/naid/10029251917/

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○DOI (任意):

○PMID (任意):

○CRID (任意):

□

1523106605020022784

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○WOS (任意):

○Scopus (任意):

○評価値 (任意):

○被引用数 (任意):

○指導教員 (推奨):

○備考 (任意):

和文冊子 ●	松尾繁樹, 三澤弘明 : フェムト秒レーザを用いた微細加工, 高温学会誌, Vol.30, No.2, 77-81, 2004年3月.
欧文冊子 ●	Shigeki Matsuo and Hiroaki Misawa : Microfabrication Using Femtosecond Laser, Journal of High Temperature Society, Vol.30, No.2, 77-81, March 2004.

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