EDB [野田和宏/旗谷充彦/[英崇夫]/[日下一也]/大島浩二/石田友幸/新宮原正三/[松英達也]/坂田修身/極細Al配線のエレクトロマイグレーション誘起ひずみの測定/第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集] (101202)

EID=101202

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○種別 (必須):

□

国内講演発表

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○言語 (必須):

□

日本語

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○招待 (推奨):

○審査 (推奨):

○カテゴリ (推奨):

□

研究

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○共著種別 (推奨):

○学究種別 (推奨):

○組織 (推奨):

1.

徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座 (〜2023年3月31日)

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○著者 (必須):

1.

(英) Noda Kazuhiro (日) 野田和宏 (読) のだかずひろ

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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2.

(英) Hataya Mitsuhiko (日) 旗谷充彦 (読) はたやみつひこ

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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3.

英崇夫

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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4.

日下一也 ([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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5.

(英) Oshima Koji (日) 大島浩二 (読) おおしまこうじ

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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6.

(英) Ishida Tomoyuki (日) 石田友幸 (読) いしだともゆき

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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7.

(英) Shingubara Shoso (日) 新宮原正三 (読) しんぐうばらしょうそう

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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8.

松英達也 ([新居浜工業高等専門学校])

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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9.

(英) Sakata Osami (日) 坂田修身 (読) さかたおさみ

○役割 (任意):

○貢献度 (任意):

○学籍番号 (推奨):

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○題名 (必須):

□

(英) Measurement of Electromigration-induced Strain in Fine Aluminum Line (日) 極細Al配線のエレクトロマイグレーション誘起ひずみの測定

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○副題 (任意):

○要約 (任意):

○キーワード (推奨):

○発行所 (推奨):

□

日本材料学会

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○誌名 (必須):

□

(英) Proceedings of The 39th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials (日) 第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 (読) だいさんじゅうきゅうかいえっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむこうえんろんぶんしゅう

○ISSN (任意):

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○巻 (必須):

○号 (必須):

○頁 (必須):

□

219 223

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○都市 (必須):

□

京都 (Kyoto/[日本国])

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○年月日 (必須):

□

西暦 2004年 9月 17日 (平成 16年 9月 17日)

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○被引用数 (任意):

○指導教員 (推奨):

○備考 (任意):

和文冊子 ●	野田和宏, 旗谷充彦, 英崇夫, 日下一也, 大島浩二, 石田友幸, 新宮原正三, 松英達也, 坂田修身 : 極細Al配線のエレクトロマイグレーション誘起ひずみの測定, 第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集, (巻), (号), 219-223, 2004年9月.
欧文冊子 ●	Kazuhiro Noda, Mitsuhiko Hataya, Takao Hanabusa, Kazuya Kusaka, Koji Oshima, Tomoyuki Ishida, Shoso Shingubara, Tatsuya Matsue and Osami Sakata : Measurement of Electromigration-induced Strain in Fine Aluminum Line, Proceedings of The 39th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials, (巻), (号), 219-223, Sep. 2004.

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登録内容 (EID=101202)

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