徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: 細田 祐吉/[日下 一也]/[英 崇夫]/[富永 喜久雄]/対向ターゲット式スパッタリング装置を用いて作製したZnO膜の残留応力測定/第33回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集

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EID
99363
EOID
328616
Map
0
LastModified
2007年2月14日(水) 17:41:29
Operator
日下 一也
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
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Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国内講演発表
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. (英) Hosota Hiroyoshi / (日) 細田 祐吉 / (読) ほそた ひろよし
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 英 崇夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Residual Stress Measurement in ZnO Films Deposited by Two Facing Targets Sputtering System

(日) 対向ターゲット式スパッタリング装置を用いて作製したZnO膜の残留応力測定

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨 日本材料学会
誌名 必須 (英) Proceedings of the 33th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials / (日) 第33回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 / (読) だいさんじゅうさんかい えっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむこうえんろんぶんしゅう
ISSN 任意
必須
必須
必須 61 65
都市 必須 京都(Kyoto/[日本国])
年月日 必須 1997年 7月 29日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意