徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [日下 一也]/[英 崇夫]/[富永 喜久雄]/アンバランスドターゲットを用いたプレーナマグネトロンスパッタリング装置で作製したAlN膜の残留応力の窒素ガス圧依存性/第30回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集

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EID
99304
EOID
328611
Map
0
LastModified
2007年2月14日(水) 17:39:11
Operator
日下 一也
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
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Write
継承
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継承
種別 必須 国内講演発表
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 英 崇夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Dependence of Nitrogen Gas Pressure on Residual Stress in AlN Films Deposited by Planar Magnetron Sputtering System with Unbalanced Target

(日) アンバランスドターゲットを用いたプレーナマグネトロンスパッタリング装置で作製したAlN膜の残留応力の窒素ガス圧依存性

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨 日本材料学会
誌名 必須 (英) Proceedings of the 30th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials / (日) 第30回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集 / (読) だいさんじゅっかい えっくすせんざいりょうきょうどにかんするしんぽじうむこうえんろんぶんしゅう
ISSN 任意
必須
必須
必須 75 80
都市 必須 京都(Kyoto/[日本国])
年月日 必須 1994年 7月 21日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意