著作: [ヨードカシス サウリウス]/奥野 紘規/久次米 紀孝/[松尾 繁樹]/[三澤 弘明]/Hole drilling in stainless steel and silicon by femtosecond pulses at low pressure/[Applied Physics. A, Materials Science & Processing]
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種別 | 必須 | 学術論文(審査論文) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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言語 | 必須 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
招待 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
審査 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
カテゴリ | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
共著種別 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
学究種別 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
組織 | 推奨 |
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著者 | 必須 |
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題名 | 必須 |
(英) Hole drilling in stainless steel and silicon by femtosecond pulses at low pressure |
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副題 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
要約 | 任意 |
(日) フェムト秒パルスの照射によってステンレス鋼とシリコンに小径かつ深い穴を作製した.低圧下で加工することによりきれいな加工ができることを明らかにした. |
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キーワード | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
発行所 | 推奨 | Springer-Verlag | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
誌名 | 必須 |
Applied Physics. A, Materials Science & Processing([Springer-Verlag])
(pISSN: 0947-8396, eISSN: 1432-0630)
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巻 | 必須 | 79 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
号 | 必須 | 4--6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
頁 | 必須 | 1555 1559 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
都市 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
年月日 | 必須 | 2004年 9月 初日 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
URL | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
DOI | 任意 | 10.1007/s00339-004-2846-0 (→Scopusで検索) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
PMID | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
CRID | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
WOS | 任意 | 000222766100197 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Scopus | 任意 | 2-s2.0-4344670977 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
評価値 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
被引用数 | 任意 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
指導教員 | 推奨 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
備考 | 任意 |