徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

徳島大学ウェブサイトへのリンク

著作: [富永 喜久雄]/[新谷 義廣]/酸化亜鉛のスパッタリングにおける高速粒子のエネルギー評価とその成長膜への影響/[応用物理学会誌]

ヘルプを読む

「著作」(著作(著書,論文,レター,国際会議など))は,研究業績にかかる著作(著書,論文,レター,国際会議など)を登録するテーブルです. (この情報が属するテーブルの詳細な定義を見る)

  • 項目名の部分にマウスカーソルを置いて少し待つと,項目の簡単な説明がツールチップ表示されます.

この情報をEDB閲覧画面で開く

EID
86181
EOID
707164
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 16:31:49
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 総説·解説
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 放送大学.徳島学習センター
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 新谷 義廣
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) 酸化亜鉛のスパッタリングにおける高速粒子のエネルギー評価とその成長膜への影響

副題 任意
要約 任意

(日) スパッタリング法による膜形成において,膜を衝撃している高速粒子の測定法について報告した.その中で,飛行時間法による高速粒子のエネルギーや粒子の同定について,酸化亜鉛のスパッタリングを取り上げて述べ,その際の高速粒子の生成メカニズムを議論した.あわせて,酸化亜鉛膜へ及ぼす粒子衝撃の影響について述べた.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 応用物理学会誌([応用物理学会])
(resolved by 0369-8009)
ISSN: 0369-8009 (pISSN: 0369-8009, eISSN: 2188-2290)
Title: 応用物理
Supplier: 公益社団法人 応用物理学会
 (J-STAGE (No Scopus information.)
ISSN 任意
必須 62
必須 12
必須 1230 1233
都市 任意
年月日 必須 1993年 12月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意