徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Ueda Tetsuya/Ao Takahiro/Mori Ichiro/ITO Films Prepared on c-Axis Oriented AlN Films by Facing Target Sputtering System/Transaction of the Materials Research Society of Japan

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EID
86094
EOID
707205
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:39:59
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 国際会議
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Ueda Tetsuya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Ao Takahiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) ITO Films Prepared on c-Axis Oriented AlN Films by Facing Target Sputtering System

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,透明導電膜であるITO膜の低抵抗化を図る際に,結晶粒の成長方向の混在が影響するかどうかについて調べるために,c軸のそろった窒化アルミニウム膜上にITO膜を成長させて,その特性を評価したものである.(111)に配向したITO多結晶膜が実現でき,キャリア密度の向上が認められたが,移動度の低下をともない,結局は同程度の抵抗率にとどまった.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Transaction of the Materials Research Society of Japan
データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
[雑誌] Transactions of the Materials Research Society of Japan (日本MRS)
ISSN 任意
必須 20
必須 ---
必須 554 557
都市 必須
年月日 必須 1996年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意