徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Yuasa Takayuki/Kuroda Kenji/Tada Osamu/Observation of Energetic Particles in Sputtering by Time-of-Flight Measurement/Proc. 8th International Symposium on Plasma Chemistry

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EID
86075
EOID
707121
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 15:02:52
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 国際会議
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Yuasa Takayuki
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Kuroda Kenji
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Tada Osamu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Observation of Energetic Particles in Sputtering by Time-of-Flight Measurement

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,スパッタリングの分野で基板を衝撃している高速酸素原子を飛行時間法により観測し,そのデータに対して検討した.高速酸素原子の生成メカニズムを負イオンのArガス中での電子分離の断面積をもとに考察したものである.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proc. 8th International Symposium on Plasma Chemistry
ISSN 任意
必須 ---
必須 ---
必須 885 890
都市 必須
年月日 必須 1987年 9月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意