徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Ao Takahiro/Sato Yoshifumi/Mori Ichiro/[日下 一也]/[英 崇夫]/Magnetic Field Dependence of AlN Films in DC Planar Magnetron Sputtering with Opposed Targets/[Vacuum]

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EID
85964
EOID
707238
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:54:13
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
Read
継承
Write
継承
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Ao Takahiro
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Sato Yoshifumi
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Mori Ichiro
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Magnetic Field Dependence of AlN Films in DC Planar Magnetron Sputtering with Opposed Targets

副題 任意
要約 任意

(英) AlN films were deposited on glass substrates by planar magnetron sputtering with opposed targets. Two kinds of target holders with different magnetic field distributions were used. We investigated how magnetic field configuration in a plasma region affects AlN film properties such as c-axis orientation, optical transmittance spectrum and internal stress. It was found that degree of c-axis orientation of AlN films has a close relation with the magnetic field distribution in the facing target system. When magnetic field distribution in the chamber was designed so that electrons could escape outward from the plasma region, AlN films could be deposited with little damage.

(日) 対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタリングによってAlN膜を堆積した.磁場分布の異なる2種類のターゲットホルダーを用いた.我々はプラズマ領域中の磁場分布が,c軸配向性,光透過率,内部応力などのAlN膜特性にどのような影響を及ぼすかを調べた.AlN膜のc軸配向性が対向ターゲット間の磁場分布に密接な関係があることが分かった.チャンバー内の磁場分布は,電子がプラズマ領域から外へ逃れることができ,AlN膜が損傷なく堆積することができるように設計させる.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(resolved by 0042-207X)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1879-2715)
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 51
必須 4
必須 549 553
都市 任意
年月日 必須 1998年 4月 初日
URL 任意 http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW4-3WDKYD9-F&_user=106892&_handle=B-WA-A-A-CY-MsSAYVA-UUW-AUECAZYAYC-AUEWDVYEYC-CDAWCWVAA-CY-U&_fmt=summary&_coverDate=12%2F01%2F1998&_rdoc=13&_orig=browse&_srch=%23toc%235552%231998%23999489995%2394501!&_cdi=5552&view=c&_acct=C000008258&_version=1&_urlVersion=0&_userid=106892&md5=522cd0cbbf27196934f4142c0a014992
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意