徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Manabe Haruhiko/Umezu Norio/Mori Ichiro/Ushiro Tomoko/[中林 一朗]/Film Properties of ZnO:Al Prepared by Cosputtering of ZnO:Al and Either Zn or Al Targets/[Journal of Vacuum Science & Technology A]

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EID
85963
EOID
707206
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:39:59
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Manabe Haruhiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Umezu Norio
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Ushiro Tomoko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Film Properties of ZnO:Al Prepared by Cosputtering of ZnO:Al and Either Zn or Al Targets

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文では,アルミニウム添加酸化亜鉛薄膜や添加なしの酸化亜鉛導電膜を作製するとき,過剰に供給する亜鉛原子の各々の膜に対する効果を評価した.不純物を添加しない酸化亜鉛膜は,亜鉛原子の供給したで,かなりの結晶粒成長の促進とキャリア密度の増大を達成できる.この効果はアルミ添加の酸化亜鉛ではより少ない亜鉛の供給ではるかにキャリア蜜度の増大させることができる.これらの結果は,亜鉛の過剰供給が酸化亜鉛膜の結晶粒成長の促進や欠陥の減少に寄与していることを示す.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Vacuum Science & Technology A(American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(resolved by 0734-2101)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1520-8559)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 15
必須 3
必須 1074 1079
都市 任意
年月日 必須 1997年 5月 初日
URL 任意
DOI 任意 10.1116/1.580432    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 A1997XE73100115
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意