徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Kataoka Masahiro/Manabe Haruhiko/Ueda Tetsuya/Mori Ichoro/Transparent ZnO Films Prepared by Co-sputteringof ZnO:Al with Either a Zn or an Al Target/[Thin Solid Films]

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EID
85961
EOID
707204
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:39:59
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Kataoka Masahiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Manabe Haruhiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Ueda Tetsuya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Mori Ichoro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Transparent ZnO Films Prepared by Co-sputteringof ZnO:Al with Either a Zn or an Al Target

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,透明導電膜であるアルミニウム添加酸化亜鉛膜の作製において,亜鉛原子を過剰に供給することで,酸化亜鉛系の膜で現在までに達成された最も低い抵抗率が比較的容易に達成できた.おそらく最適の条件設定ができていることを示す.この結果は,亜鉛の供給により酸化亜鉛結晶粒の成長が促進され,その結果多結晶膜中の欠陥が少なくなったと考えた.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 290-291
必須 ---
必須 84 87
都市 任意
年月日 必須 1996年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意