徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Ueda Tetsuya/Kataoka Masahiro/Mori Ichiro/ITO Films prepared by Facing Target Sputtering System/[Thin Solid Films]

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EID
85958
EOID
707170
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 17:06:07
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Ueda Tetsuya
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Kataoka Masahiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) ITO Films prepared by Facing Target Sputtering System

副題 任意
要約 任意

(日) 本論文は,最近の光エレクトロニクス分野で多用されているIT(Indium Tin Oxide)透明導電膜を対向ターゲット式スパッタ法で作製し,この装置での膜作製の有効性を検討したものである.まず,高速酸素原子の膜衝撃をなくしたことが効果的であることを確認した.つぎに,酸素混入の微妙な影響が確認できた.また,ITO膜でのキャリア密度と移動度の増大が,膜の結晶性の向上にあることを示した.膜形成時のドナー原子(Sn)の酸化モデルにより実験結果の説明をおこなった.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 281-282
必須 ---
必須 194 197
都市 任意
年月日 必須 1996年 8月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意